| [1] |
贺平, 张旭, 杨洋. 不同基体材料筒体内壁磁控溅射膜层工艺研究[J]. 真空, 2021, 58(6): 33-37. |
| [2] |
段珊珊, 施昌勇, 杨丽珍, 刘忠伟, 张海宝, 陈强. 原子层沉积法制备Al2O3薄膜研究近况和发展趋势[J]. 真空, 2021, 58(6): 13-20. |
| [3] |
朱蓓蓓, 倪昌, 秦琳, 楚建宁, 陈肖, 许剑锋. 基于磁控溅射的纳米金属薄膜沉积工艺研究*[J]. 真空, 2021, 58(6): 21-26. |
| [4] |
宋光辉, 李文龙, 王银河, 胡雯雯, 姚春龙, 刘海涛. 宽角度入射近紫外反射镜的膜系优化设计与制备[J]. 真空, 2021, 58(6): 38-42. |
| [5] |
杨曌, 罗俊尧, 李保昌, 李淑华, 沓世我, 付振晓, 宁洪龙. 复合金属薄膜层对金丝键合性能的影响[J]. 真空, 2021, 58(6): 43-47. |
| [6] |
张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(5): 110-112. |
| [7] |
李建鹏, 张驰, 李建昌. 柔性电子器件疲劳特性的研究进展*[J]. 真空, 2021, 58(5): 11-15. |
| [8] |
张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(4): 103-104. |
| [9] |
杨子淑, 段苹, 邓金祥, 张晓霞, 张杰, 杨倩倩. 不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究*[J]. 真空, 2021, 58(3): 30-34. |
| [10] |
张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(3): 86-88. |
| [11] |
张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(2): 86-88. |
| [12] |
李成明, 苏宁, 李琳, 姚威振, 杨少延. 一种垂直递变流速氢化物气相外延（HVPE）反应腔流场分析及大尺寸材料生长*[J]. 真空, 2021, 58(2): 1-5. |
| [13] |
李坤, 熊玉卿, 王虎, 张凯锋, 王兰喜, 周晖. 蒸发速率对ZnS薄膜性能的影响*[J]. 真空, 2021, 58(2): 15-19. |
| [14] |
张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(1): 86-88. |
| [15] |
王杰, 康颂, 董长昆. 微型碳纳米管低压传感器工作性能研究[J]. 真空, 2021, 58(1): 1-5. |