真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (6): 33-37.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.06.06
贺平, 张旭, 杨洋
HE Ping1, ZHANG Xu1, YANG yang1
摘要： 筒体是由复合材料和金属柔性件组合而成,筒体不能直接接触工作介质,因此其内壁需要施加一层保护膜。本文通过对不同筒体材料预处理,同时利用磁控溅射工艺进行工艺研究和试制,最终确定了一体镀膜工艺路线,并开发出相应的磁控溅射工艺参数,利用该工艺参数成功在筒体内壁实现一次性成膜,所得膜层完整并具有一定膜基结合强度和膜层厚度。
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