真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (1): 59-63.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.11
田虎林1,2, 余荣1,2, 刘文异3, 刘守文4, 王欢1,2, 杨振1,2, 张玮1,2, 卢耀文1,2
TIAN Hu-lin1,2, YU Rong1,2, LIU Wen-yi3, LIU Shou-wen4, WANG Huan1,2, YANG Zhen1,2, ZHANG Wei1,2, LU Yao-wen1,2
摘要： 为实现真空试验设备真空和温度参数的自动化检测,本文通过研制真空试验设备计量系统,采用在真空试验设备内部布置高精度铂电阻温度计,同时在设备真空接口处布置高精度全量程真空计实现数据准确测量,上位机利用Labview编程实现自动采集真空、温度的测量数据,从而解决了真空试验设备的真空和温度参数的计量检测自动化实现的难题。
中图分类号:
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