真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (3): 68-73.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.14
周军, 曹曾, 曹诚志, 黄向玫, 高霄雁, 胡毅
ZHOU Jun, CAO Zeng, CAO Cheng-zhi, HUANG Xiang-mei, GAO Xiao-yan, HU Yi
摘要： 利用四极质谱计对HL-2M真空室分别在烘烤和辉光放电清洗过程中的残余气体进行了初步测量分析,并且研究了HL-2M抽气系统中低温泵对水的抽除效果。真空室经过最高100℃烘烤后,M/q=18（H20）、M/q=28（CO）的气体分压强分别减少47.96%、17.63%;对HL-2M进行辉光放电清洗时M/q=18（H2O）、M/q=28（CO）、M/q=32（O2）的离子流显著增加,清洗产物通过抽气系统排除,有效地减少了碳、氧等杂质;在4台低温泵抽气并达到动态平衡时M/q=18（H2O）、M/q=28（CO）分压强分别减少了3.2×10-5Pa、3.7×10-6Pa。质谱测量结果为保障HL-2M装置的初始等离子体放电提供了有用的参考数据。
中图分类号:
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