四极质谱在漂移管直线加速器上的应用

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2018.06.02

真空 ›› 2018, Vol. 55 ›› Issue (6): 5-9.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.06.02

四极质谱在漂移管直线加速器上的应用

刘顺明 ^1,2，宋洪 ^1,2，董海义^1,2，关玉慧 ^1,2，刘盛画 ^1,2,3

1.中国科学院高能物理研究所，北京 100049；2.东莞中子科学中心，东莞 523803；3.中国科学院大学，北京 100049

收稿日期:2018-01-08 出版日期:2018-11-25 发布日期:2018-12-09
通讯作者: 宋洪，研究员级高工。
作者简介:刘顺明（1987-），男，山东省临沂市人，硕士，工程师。

Applications of quadrupole mass spectrometer in drift tube linear accelerator

LIU Shun-ming ^1,2, SONG Hong ^1,2, DONG Hai-yi^1,2, GUAN Yu-hui ^1,2, LIU Sheng-hua ^1,2,3

1.Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China； 2.Dongguan Neutron Science Center, Dongguan 523803, China； 3.University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

Received:2018-01-08 Online:2018-11-25 Published:2018-12-09

摘要/Abstract

摘要： 真空检漏是漂移管直线加速器（DTL）获得高真空的重要技术。四极质谱计是分析真空系统内残余气体成分的重要工具，同时也可作为一种检漏手段。本文利用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对 DTL1^# 腔进行检漏。当对 12^# 漂移管的线圈加电时，腔体内的真空度、漏率和残余气体成分都发生了变化，并且水的谱峰增加最显著，所以判断 12^# 漂移管出现了问题。通过恰当的处理，使腔体很快获得了 10^-6 Pa 的高真空，满足了直线加速器对真空系统的要求。

关键词: 真空检漏, 漂移管, 氦质谱检漏, 残余气体分析

Abstract: The vacuum leak detection is an important technology to obtain high vacuum in the drift tube linear accelerator (DTL). The quadrupole mass spectrometer is an important tool for analyzing the components of the residual gas in the vacuum system, and can also be used as a means of leak detection. In this paper, the DTL1^# cavity was detected by two means of helium mass spectrometer leak detector and quadrupole mass spectrometer. When the coil of the 12^# drift tube was applied current, the pressure, leakage rate and residual gas composition of the cavity were all changed, and the spectral peak of water increased most significantly. So there's something wrong with 12^# drift tube. The cavity quickly obtained the high vacuum of 10^-6 Pa by proper treatment, which met the requirements of the linear accelerator for vacuum system.

Key words: leak detection, drift tube, mass spectrometer leak detection, residual gas analysis

中图分类号:

TL53

刘顺明, 宋洪, 董海义, 关玉慧, 刘盛画. 四极质谱在漂移管直线加速器上的应用[J]. 真空, 2018, 55(6): 5-9.

LIU Shun-ming, SONG Hong, DONG Hai-yi, GUAN Yu-hui, LIU Sheng-hua. Applications of quadrupole mass spectrometer in drift tube linear accelerator[J]. VACUUM, 2018, 55(6): 5-9.

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