真空 ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (4): 13-17.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.04.03
彭波1, 袁秋2, 孟晓敏3
PENG Bo1, YUAN Qiu2, MENG Xiao-min3
摘要： 利用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜以及能谱仪研究了油雾污染对溅射基底（硅片、称量纸、铜箔和载玻片）微观形貌和元素含量的影响。结果表明：溅射沉积不同时间后,硅片基底上均出现球状颗粒,且颗粒随着溅射时间延长而聚集或长大;溅射前硅片的碳含量为4.55%,经溅射沉积50s后其表面碳含量约为31.55%;铜箔和称量纸溅射沉积50s后的光学形貌与溅射前差异不大,未出现球状颗粒;载玻片溅射沉积50s的光学形貌与硅片的接近,表面随机分布着球状颗粒。硅基类基底对油雾污染极其敏感,表现为经过溅射处理后样品表面分布着球状颗粒,且碳元素质量分数约为溅射前的7~8倍。
中图分类号: TN16;TB321
| [1] 马原辉, 陈学广, 刘哲. 扫描电镜粉末样品的制备方法[J]. 实验室科学, 2011, 14(1): 148-150. [2] 程鹏翥. 离子溅射在物质微观组织结构研究中的应用[J]. 物理, 1984, 13(7): 410-414. [3] 辛昕. 分析扫描电镜粉末样品的制备方法[J]. 科技展望, 2015(27): 64. [4] 李剑平. 扫描电子显微镜对样品的要求及样品的制备[J]. 分析测试技术与仪器, 2007, 13(1): 74-77. [5] 郑东. 扫描电镜非导电样品的等离子溅射镀膜方法[J]. 中国现代教育装备, 2007(10): 19-20. [6] PRIVAL H G.A model of the ion sputtering process[J]. Surface Science, 1978, 76(2): 443-463. [7] VACÍK J, HORÁK P, BAKARDJIEVA S, et al. Ion sputtering for preparation of thin MAX and MXene phases[J]. Radiation Effects and Defects in Solids, 2020, 175(1/2): 177-189. [8] 王醒东, 林中山, 张立永, 等. 扫描电子显微镜的结构及对样品的制备[J]. 广州化工, 2012, 40(19): 28-30. [9] 焦汇胜, 李香庭. 扫描电镜能谱仪及波谱仪分析技术[M]. 长春: 东北师范大学出版社, 2011. [10] 余凌竹, 鲁建, 吴永豪, 等. 离子溅射喷金对陶瓷类样品扫描电镜形貌观察的影响[J]. 实验科学与技术, 2020, 18(2): 21-25. [11] 张世伟. 真空镀膜技术与设备[M]. 北京: 化学工业出版社, 2007. [12] MOTIHIRO T, OZAWA F, TAGA Y.Ejection angular distribution of argon in sputtering of a gold target[J]. Thin Solid Films, 1985, 128(1/2): 37-39. [13] HARRIS N S, 鲁浩长. 机械泵的返油(节译)[J]. 真空, 1979(5): 69-75. [14] 易新建, 徐日炳. 离子溅射Ti、Pt、Au的研究[J]. 华中工学院学报, 1980(4): 232-237. [15] 李云奇. 真空镀膜[M]. 北京: 化学工业出版社, 2012. [16] 陈国平. 薄膜物理与技术[M]. 南京: 东南大学出版社, 1993. [17] PEA-TORRES A, ALI A, STAMATAKIS M, et al.Indirect mechanism of Au adatom diffusion on the Si(100) surface[J]. Physical Review C, 2022, 105(20): 205411. [18] PALM H, ARBES M, SCHULZ M.Fluctuations of the Au-Si(100) Schottky barrier height[J]. Physical Review Letters, 1993, 71(14): 2224-2227. [19] AL-SALLAMI W, PARSAEIAN P, DORGHAM A, et al.Oil-soluble ionic liquid to lubricate silicon[J]. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part J: Journal of Engineering Tribology, 2021, 235(10): 1995-2006. [20] STOYANOV P, CHROMIK R R.Scaling effects on materials tribology: from macro to micro scale[J]. Materials, 2017, 10(5): 550. |
| [1] | 秦丽丽, 董茂进, 冯煜东, 韩仙虎, 蔡宇宏, 王毅, 李小金, 马凤英. 超高水氧阻隔膜研究进展*[J]. 真空, 2023, 60(1): 23-29. |
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