欢迎访问沈阳真空杂志社 Email Alert    RSS服务

真空 ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (6): 37-41.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.06.06

• 薄膜 • 上一篇    下一篇

拉曼检测仪器用干涉滤光片综述

刘博文, 高鹏, 王瑞生, 赵帅锋, 任少鹏, 董明, 陈一凡, 秦瑞   

  1. 沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳 110043
  • 收稿日期:2023-04-15 出版日期:2023-11-25 发布日期:2023-11-27
  • 作者简介:刘博文(1992-),男,吉林省四平市人,工程师,硕士。 通讯作者:高鹏,教授级高工。

Review on Interference Filters for Raman Detection Instruments

LIU Bo-wen, GAO Peng, WANG Rui-sheng, ZHAO Shuai-feng, REN Shao-peng, DONG Ming, CHEN Yi-fan, QIN Rui   

  1. Shenyang Instrument Science Research Institute Co., Ltd., Shenyang 110043, China
  • Received:2023-04-15 Online:2023-11-25 Published:2023-11-27

摘要: 介绍了拉曼检测仪器用干涉滤光片(简称拉曼滤光片)的应用场景和功能,研究分析了其光谱指标对拉曼检测仪器性能和精度的影响,包括光谱透射率、光谱反射率、背景截止度、截止陡度等。为满足拉曼滤光片光学指标的精准光谱测试需求,推荐了分光光度计测试及相关测试参数的设置方法。此外,还介绍了采用溅射镀膜工艺制造高性能拉曼滤光片的方法及优势。最后,对拉曼滤光片的发展进行了总结和展望,为拉曼滤光片在科学研究和产业化应用中提供参考。

关键词: 拉曼检测仪器, 拉曼滤光片, 光学指标, 分光光度计, 溅射镀膜

Abstract: This paper introduces the application scenarios and functions of interference filters in Raman detection instruments(abbreviated as Raman filters), and analyzes the influence of its spectral indicators on the performance and accuracy of Raman detection instruments, including spectral transmittance, spectral reflectance, background, steepness, etc. In order to meet the precise spectral test requirements of Raman filter performance indicators, the spectrophotometer detection and the setting method of related detection parameters are recommended. In addition, the method and advantages of using sputtering coating technology to manufacture high-performance Raman filters are introduced. Finally, the development of Raman filters is summarized and prospected, so as to provide references for Raman filters in scientific research and industrial applications.

Key words: Raman detection instrument, Raman filter, optical index, spectrophotometer, sputtering coating

中图分类号:  O432

[1] RAMAN C V, KRISHNAN K S.A new type of secondary radiation[J]. Nature, 1928, 121(3048): 501-502.
[2] MAIMAN T H.Stimulated optical radiation in ruby[J]. Nature, 1960, 187(4763): 493-494.
[3] PUPPELS G J, HUIZINGA A, KRABBE H W, et al.A high-throughput Raman notch filter set[J]. Review of Scientific Instruments, 1990, 61(12): 3709-3712.
[4] KRISHNA R, COLAK I.Advances in biomedical applications of Raman microscopy and data processing: a mini review[J]. Analytical Letters, 2023,56(4):576-617.
[5] ZHENG J, HE L.Surface-enhanced Raman spectroscopy for the chemical analysis of food[J]. Comprehensive Reviews in Food Science and Food Safety, 2014, 13(3): 317-328.
[6] SIVAPRAKASAM V, HART M B.Surface-enhanced Raman spectroscopy for environmental monitoring of aerosols[J]. ACS Omega, 2021, 6(15): 10150-10159.
[7] HUANG T Y, YU J C C. Development of crime scene intelligence using a hand-held Raman spectrometer and transfer learning[J]. Analytical Chemistry, 2021, 93(25): 8889-8896.
[8] ZIEMANN M A, MADARIAGA J M.Applications of Raman spectroscopy in art and archaeology[J]. Journal of Raman Spectroscopy, 2021, 52(1): 8-14.
[9] HAN X X, RODRIGUEZ R S, HAYNES C L, et al.Surface-enhanced Raman spectroscopy[J]. Nature Reviews Methods Primers, 2021, 1: 87.
[10] BUHRKE D, HILDEBRANDT P.Probing structure and reaction dynamics of proteins using time-resolved resonance Raman spectroscopy[J]. Chemical Reviews, 2020, 120(7): 3577-3630.
[11] TAYLOR E A, DONNELLY E.Raman and Fourier transform infrared imaging for characterization of bone material properties[J]. Bone, 2020, 139: 115490.
[12] MOSCA S, CONTI C, STONE N, et al.Spatially offset Raman spectroscopy[J]. Nature Reviews Methods Primers, 2021, 1: 21.
[13] 杨浩. 便携式拉曼光谱仪若干关键技术的研究[D]. 苏州: 苏州大学, 2014.
[14] 张一超. 手持式拉曼光谱检测装置光学系统的设计与实现[D]. 杭州: 浙江工业大学, 2019.
[15] 唐晋发, 顾培夫, 刘旭, 等. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州: 浙江大学出版社, 2006.
[16] 杨洁, 杨照清, 方晨霆, 等. 低波数高分辨率宽光谱拉曼光谱仪的集成化设计[J]. 光学技术, 2021, 47(6): 647-653.
[17] 吕鑫. 宽波段单细胞拉曼光谱仪光学系统设计及杂散光处理方法[D]. 长春: 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2022.
[18] 孙斌. 分光光度计主要技术指标及其检测方法[J]. 分析仪器, 2007(1): 53-56.
[19] Agilent 公司官网[EB/OL].[2023-02-05].https://www.agilent.com.
[20] Semrock 公司官网[EB/OL].[2023-02-05].https://www.semrock.com.
[21] Alluxa 公司官网[EB/OL].[2023-02-05].https://www.alluxa.com.
[22] 王晓明, 鄂东梅, 武俊生, 等. 基于等离子体在磁控溅射增强的模拟[J]. 真空, 2020, 57(3): 5-10.
[23] 朱蓓蓓, 倪昌, 秦琳, 等. 基于磁控溅射的纳米金属薄膜沉积工艺研究[J]. 真空, 2021, 58(6): 21-26.
[24] 刘沅东. 磁控溅射制备大面积ZnO薄膜性能的研究[J]. 真空, 2022, 59(1): 29-32.
[1] 王福贞 , 陈大民 , 颜远全 . 弧光放电氩离子清洗源[J]. 真空, 2019, 56(1): 27-33.
Viewed
Full text


Abstract

Cited

  Shared   
  Discussed   
[1] 李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙 健, 李 刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1 -9 .
[2] 周彬彬, 张 建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10 -14 .
[3] 柴晓彤, 汪 亮, 王永庆, 刘明昆, 刘星洲, 干蜀毅. 基于 STM32F103 单片机的单泵运行参数数据采集系统[J]. 真空, 2018, 55(5): 15 -18 .
[4] 李民久, 熊 涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川. 基于双管正激式变换器的金属表面去毛刺 20kV 高压脉冲电源[J]. 真空, 2018, 55(5): 19 -24 .
[5] 刘燕文, 孟宪展, 田 宏, 李 芬, 石文奇, 朱 虹, 谷 兵, 王小霞 . 空间行波管极高真空的获得与测量[J]. 真空, 2018, 55(5): 25 -28 .
[6] 徐法俭, 王海雷, 赵彩霞, 黄志婷. 化学气体真空 - 压缩回收系统在环境工程中应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 29 -33 .
[7] 谢元华, 韩 进, 张志军, 徐成海. 真空输送的现状与发展趋势探讨(五)[J]. 真空, 2018, 55(5): 34 -37 .
[8] 孙立志, 闫荣鑫, 李天野, 贾瑞金, 李 征, 孙立臣, 王 勇, 王 健, 张 强. 放样氙气在大型收集室内分布规律研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 38 -41 .
[9] 黄 思 , 王学谦 , 莫宇石 , 张展发 , 应 冰 . 液环压缩机性能相似定律的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 42 -45 .
[10] 常振东, 牟仁德, 何利民, 黄光宏, 李建平. EB-PVD 制备热障涂层的反射光谱特性研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 46 -50 .