真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (3): 20-25.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.03.04
余彦飞, 李晓刚, 胡湘娥, 陈进文, 陈洁心
YU Yan-fei, LI Xiao-gang, HU Xiang-e, CHEN Jin-wen, CHEN Jie-xin
摘要： 抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气体抽速测试进行了详细介绍。结果表明：流导法测得低温泵对N2和Ar的抽速分别为2 410 L/s、1 884 L/s,明显优于国内外同类产品指标;低温泵对H2抽速为2 577 L/s,与国内外产品公开技术指标处于相同水平。依照流导法获得的测试结果具有较高的准确度和可信度。
中图分类号: TB752+.53
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