复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时,也影响着检漏仪的检测性能。本文基于分子泵抽气基本理论,建立复合分子泵涡轮级的计算模型,通过改变叶片倾角、叶片数目、叶片高度和叶片厚度,分别计算了复合分子泵涡轮级对空气和氦气的抽气性能,研究了复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明:减小叶片倾角、增加叶片数目和叶片高度、增大叶片厚度有利于氦质谱检漏仪检测灵敏度的提高;综合考虑分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测灵敏度,选取叶片倾角25°,涡轮叶片数目25个到30个,叶片高度3mm,叶片厚度0.6mm到0.8mm最优。

载人航天器舱门是航天员及货物进出航天器密封舱的通道，一旦发生泄漏，将影响载人航天器正常运行，甚至威胁航天员生命安全。为了确保载人航天器舱门的密封性能，必须要在发射前进行严格的检漏测试。针对载人航天器舱门的特殊结构，本文主要介绍了用于门体与门框密封圈、舱门整体、舱门部件及局部的检漏方法，形成了一套适用于载人航天器舱门研制过程的检漏技术，可以满足神舟飞船、空间站、登月舱等载人航天器舱门检漏要求。

通过在质谱仪进气管路上安装的标定腔室与真空管路,实现了对与微球内气体含量相同范围的微量气体的获取。对质谱仪定量分析微量气体时的精密度及被测量氘气的压力对D₂校准因子的影响进行了研究。结果表明：该四极质谱仪的精密度较高,不同压力下10次重复测量实验数据的相对标准偏差均小于0.004;校准后的一个月内质谱仪具有较高稳定性,其定量分析误差低于1%,准确度较高;D₂和Ar的浓度校准因子在一年内的变化不超过3%,而D₂的压力校准因子在一年内的变化超过8%;D₂的压力校准因子η与被测量氘气的压力P₁成反比,且η与logP₁存在较好的线性关系,这种线性关系在半年内具有较高的稳定性。

本文详细介绍了弹载速调管微小漏孔检测的方法和原理。首先明确了加压检测方法流程,对一些关键参数（如氦气存储压力、存储时间,器件内真空度表征方法等）进行了理论计算与分析,得出了具有指导意义的结果;然后对加压检测设备的主要组成部分进行了详细介绍;最后利用研制好的设备进行了弹载速调管的高压存储实验,结果表明该方法可以高效剔除不合格器件,达到了预期要求,客户反馈良好。

CSNS II加速器的束流打靶功率从100kW升级至500kW,要求直线加速器平均束流功率从目前的5kW提高到25kW,脉冲束流强度从目前的12.5mA提高到大于40mA。为此,需将当前使用的潘宁（Penning）型表面负氢离子源更改为射频（RF）负氢离子源。考虑到切束器的切束比范围在35%~50%,LEBT通过率可达到75%~95%,故RF负氢离子源需要产生至少50mA的负氢离子束。负氢离子源氢气用量也需要由目前的10sccm提高至不低于20sccm,同时要求LEBT第二腔真空度≤5.0×10^-3Pa。基于此,本文对离子源及LEBT真空系统进行了改造,提高了LEBT的束流通过率。并且对比了国内外两款磁悬浮分子泵对氢气的抽速,为后期分子泵的选型以及国产化替代提供一定的参考。

螺杆真空泵被广泛应用于半导体、镀膜、化工等行业,是一种理想的干式真空泵。其中内压缩式螺杆真空泵在气体输送阶段就开始对工作气体进行压缩,具有一系列突出优点。本文将内压缩式螺杆转子按结构分为变螺距与变截面两种,分别介绍了其数学模型设计、性能分析方法、动平衡计算等方面的研究进展,为内压缩式螺杆转子的理论研究提供了参考。

通过NS和DSMC两种方法的联合计算可以求解过渡流,NS/DSMC耦合方法同时包含NS方法计算效率与DSMC方法的计算精度优势。本文详细介绍了耦合方法发展中关键技术的原理,讨论了耦合方法在空间羽流研究中的应用进展,说明了计算域划分方法的不足。并就临近空间飞行器绕流方面的耦合技术应用进行了分析,提出耦合计算结果与实验结果的误差可能由DSMC统计散射造成,其可以通过累计统计方式消除。此外,还讨论了采用两相流模型的NS/DSMC耦合方法在MEMS领域的应用。最后就耦合方法在真空领域的应用和未来耦合算法的研究方向进行了展望。

粘结层合金的热膨胀性和抗高温氧化性与其相结构紧密相关,直接决定着热障涂层的可靠性与涡轮叶片的服役寿命。本文将热力学计算与实验研究相结合,综合分析了NiCrAlYSi粘结层合金的平衡相结构,非平衡条件下的显微组织、元素分布,热膨胀系数随温度的变化规律,以及1100℃等温氧化行为。结果表明,合金室温平衡相组成以FCC_L12结构的γ′-Ni₃Al为主,还有少量BCC_B2结构的α-Cr和β-NiAl相;当温度达到870℃以上时,合金由β-NiAl和γ-Ni相组成。非平衡状态下,合金基体相为γ-Ni+β-NiAl,其中γ-Ni被γ′-Ni₃Al相包裹,β-NiAl相上分布着α-Cr和γ′-Ni₃Al相;元素Si主要固溶在γ′-Ni₃Al相中,分布于晶界处;稀土元素Y以Ni₅Y形式存在为主,亦在晶界处富集。随着温度由100℃升高至1200℃,热膨胀系数由（11.9±0.17）×10^-6K^-1增大到（20.5±0.13）×10^-6K^-1,且当温度达到900℃以上时热膨胀系数增幅显著。1100℃等温氧化样品氧化膜的连续性和致密性较差,且与贫铝层之间存在明显间隙;当等温氧化时间由20h增加至100h,氧化膜厚度由（1.70±0.072）μm增大到（3.28±0.275）μm,贫铝层厚度由（7.48±0.606）μm增大到（10.67±2.654）μm;平均单位面积氧化增重由0.608g·m^-2逐渐增加到3.623g·m^-2,平均氧化速率先由0.030g·m^-2·h^-1减小到0.020g·m^-2·h^-1,后增大到0.036g·m^-2·h^-1,60h对应的平均氧化速率最低。

本文介绍了一种以普通真空卷绕镀铝机为基础,离子注入与气相沉积薄膜相结合的离子束辅助沉积表面改性技术。通过在普通卷绕镀膜设备上增设一套辅助轰击离子源,构成离子辅助沉积系统,可以实现透明氧化铝膜的镀制。详细说明了该镀膜方法的设备结构、特点与工作原理,并指出了该镀膜方法的推广与应用前景。所用设备还可以实现镀铝膜,突破了普通镀铝机镀膜种类的单一性。该技术响应国家号召,实现了氧化铝蒸发镀膜设备的国产化。

针对脉冲激光法和升华法制备SiC薄膜时,沉积速率比较低、薄膜厚度不均匀等问题,本文采用真空直流磁控溅射技术,利用一种高含碳量的SiC靶材,在平面玻璃衬底表面沉积SiC薄膜,通过改变直流电源功率、溅射气压,研究了不同参数对薄膜沉积速率、薄膜厚度均匀性的影响。采用台阶仪、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）分别对薄膜厚度、横截面形貌和Si、C含量进行检测表征,从而得到最佳工艺参数。实验结果表明：在相同的溅射气压条件下,当溅射功率为2000W、电压为420V时,薄膜沉积速率达到15.39nm·min^-1;相同的直流电源功率条件下,当溅射气压为0.8Pa时,沉积薄膜的厚度均匀性较好,变异系数在3%以内,同时薄膜沉积速率达到10.67nm·min^-1;采用直流磁控溅射技术所制备的薄膜内部致密无孔洞,Si、C总含量在99%以上。

在镍基单晶高温合金DD5上依次采用化学气相沉积（CVD）法沉积铝化物涂层,使用真空电弧离子镀（ARC）原位沉积NiCoCrAlYHf（HY5）金属粘结层,采用电子束物理气相沉积（EB-PVD）沉积氧化钇稳定的氧化锆（6~8YSZ）。对比了DD5+（HY5+YSZ）及DD5+（Al+HY5+YSZ）两种涂层试样在1100℃下的静态氧化防护性能。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、电子探针等方法分析了两种涂层在高温氧化过程中显微组织和成分的演变规律。结果表明：DD5+（Al+HY5+YSZ）涂层为多层结构,组织致密,与基体结合良好;250h静态氧化后,两种涂层外观状态整体完好;1100℃/250h静态氧化条件下,DD5合金、DD5+（HY5+YSZ）涂层和DD5+（Al+HY5+YSZ）涂层的氧化速率常数分别为0.415,0.410,0.354 g²·m⁴·h^-1;250h静态氧化后,DD5+（HY5+YSZ）和DD5+（Al+HY5+YSZ）涂层中铝元素含量最高分别为5.8wt%和16.7wt%,粘结层上表面铝元素含量分别为3.7wt%和6.0wt%,热生长氧化物（TGO）厚度分别为6.6μm和9.4μm;两种涂层与基体间均发生了元素互扩散,出现了二次反应区（SRZ）,DD5+（Al+HY5+YSZ）涂层中二次反应区更为明显、连续。

在目前“碳中和、碳达峰”背景下,高能耗高碳排的冶金行业绿色低碳发展已成为国际社会和行业的共识。作为单位产品碳排放最大的冶金行业之一,镁行业的减碳势在必行,开发新的低碳炼镁技术是未来镁冶金的发展方向。本文对目前皮江法炼镁技术的不足,以及新法铝热还原炼镁技术的原理与优势进行了分析。分析结果表明,皮江法炼镁存在原料消耗量大、能耗高、碳排放量大等缺点,受还原生产金属镁原理的限制,进一步降低皮江法炼镁能耗和碳排放存在较大的困难。与皮江法相比,铝热还原炼镁技术具有原料消耗少、生产效率高、能耗低、无废渣排放等优势,生产过程碳排放可降低30%~50%,是一种低碳无污染绿色炼镁工艺,在当前“双碳”背景下,具有很好的应用前景。

本文论述了真空感应熔炼炉的常见结构及未来发展方向。首先介绍了不同结构炉型的特点,然后阐述了当前主流市场环境下各类炉型的概况,最后通过对技术与市场情况的对比与分析,预测了未来真空感应熔炼炉的发展方向。

微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器等方面,热子组件是微波真空电子器件中最为核心的部件之一,其性能将直接影响微波源的可靠性和寿命。为了克服传统热子组件制备工艺的缺点,避免热子组件可靠性差和寿命短的缺陷,提出了一种热阴极用熔融热子组件的制备方法,采用高温真空烧结技术将热子与绝缘材料烧结熔化在一起,提高了热子组件的致密性,降低了残余气体的吸附量,增强了热子组件的抗冲击性能,克服了热丝变脆的缺点。

舱内航天服是航天员在舱内失压情况下维持生命的重要保障。在长时间的失压状态下,航天员的热舒适度问题是需要重点考虑的因素之一。本文基于集总参数法建立了舱内航天服热模型,联合Fiala模型建立了人-舱内航天服热模型,并使用国内试验数据验证了模型仿真的正确性。通过人-舱内航天服仿真计算,得到了不同舱内失压条件下航天员穿着舱内航天服时的热舒适度和通风气体湿度等指标的变化规律,提出了系统优化方案,为我国应急舱内压力防护系统的设计和生保方案的制定提供了参考。

应广大同行强烈要求，东北大学将于2022 年10 月9 日～14 日举办第十八期《真空技术》论坛，第十八期《真空技术》论坛将由中国真空学会真空冶金专业委会、真空工程专业委会和真空咨询工作委 会等诸多学术团体联合主办，更具权威性和影响力；同时，将对会议内容做进一步改革，使会议更贴近用人需要和工程实际。