本文讨论了应用于真空工艺的各种真空获得技术,并提供了多年在使用和操作过程中积累的售后服务经验。当真空装置需要维修时,系统地对故障进行分析诊断和采取正确的纠正措施都是同样重要。

基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。

本文以三叶转子罗茨泵为研究对象,从其基本结构和工作原理出发,对泵内被抽气体的输运过程进行热力学分析。对被抽气体在泵内经历的过程作时序分析,将其分解为吸气、输运、反冲、排气四个阶段,详细讨论各个阶段的特点和机理。应用热力学基本原理,建模计算气体返流量,对吸气、输运、排气进行定量分析,得到被抽气体的压强、容积、总质量、总内能等热力学参数随时间变化的计算公式;探究排气功率与进出口压力之间的关系。

空间环境模拟试验主要用于模拟太空的冷黑环境、真空环境及太阳辐射环境,通过热试验验证航天器温控、结构设计的合理性。深空探测器真空热环境模拟系统有效空间为Φ3.35m×5m,设备主要包括真空容器、热沉、氮系统、真空抽气系统、外热流系统、环境监控系统、测控系统等,试验极限真空度3.2×10^-5Pa,热沉平均温度≤85K,温度均匀性可达3.5K。系统已完成多次整星试验,系统各项指标均优于设计指标要求。

采用电弧离子镀技术制备了Cr/CrN多层膜,通过控制每个Cr层和CrN层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对Cr/CrN多层膜的影响。结果表明,引入Cr层对CrN薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低,结构更加致密。动电位极化曲线和电化学阻抗谱表明,与纯CrN薄膜相比,Cr/CrN多层膜的腐蚀电位增加了约100 mV,腐蚀电流密度降低一个数量级以上,多层膜的耐腐蚀性能得到明显提升。

由于具有低温、电子瞬间发射等优势,场致发射电子源在X射线管、负氢离子源、显示器件等领域都具有应用潜力。本文首先介绍了场致发射的几种应用;比较分析了不同场致发射电子源及其特点;最后结合实验研究工作,分析了类金刚石膜作为场致发射阴极材料的可行性。分析可知：Spindt加工困难且易于损坏;碳纳米管以其独特的结构成为目前研究最热的材料;类金刚石膜易于合成、成份可调节,它兼具的金刚石和石墨的优点使其成为一种潜在的理想场致发射阴极材料。

本文以光学反光镜为研究对象,通过QFD（Quality Function Deployment）获取顾客对光学反光镜膜层质量需求以及产品生产过程中所产生的质量缺陷统计,结合光学反光镜镀膜工艺,将这些需求以质量屋的形式转换为薄膜镀制过程中影响膜层质量的众多工艺因素,运用DOE（Desiqn of Experiment）试验方法对关键工艺因素进行优化设计、试验过程实施,试验结果采用检验测试、极差分析等方法进行分析,最终获得针对膜层表面缺陷改进的最优工艺参数组合。经试验验证,所构建的顾客需求为导向的QFD和DOE集成改进模型在反光镜膜层表面性能缺陷改进方面均取得了较好的实际应用效果。

本文采用双靶材交替溅射的射频磁控溅射法生长了高质量的Mg掺杂氧化镓薄膜,并将制备的样品在1000℃条件下进行后退火处理,以研究退火前后Mg掺杂Ga₂O₃薄膜的性质变化。XRD结果表明,退火后的（004）、（202）和（120）峰从无到有,（401）、（601）和（122）峰由强变弱,表明退火改变了Mg掺杂Ga₂O₃薄膜的结构。AFM结果表明,退火后的薄膜表面均方根粗糙度由1.3637nm增大到17.1133nm。EDS结果表明,退火处理后的Mg元素重量百分比有所提高。紫外可见透射光谱研究表明,退火前薄膜在200-1500nm波长范围内的平均光透过率较低,大约为80%,退火后平均光透过率明显提高到90%以上,此外薄膜光学吸收边蓝移,带隙宽度变大,表明退火有助于改善薄膜结构,增强光透性。光致发光谱实验结果表明,相比较退火处理后的薄膜,退火前的光致发光峰几乎可以忽略不计,这说明退火可显著改变Mg掺杂Ga₂O₃薄膜的光致发光特性。

太阳能集热管表面沉积的污垢会直接影响到光线透光率,进而影响真空管的集热效率,本文研究采用溶胶-凝胶法,在太阳能真空集热管的外管上浸镀一种SiO₂涂层。结果表明,该涂层同时具有增透、防污浊性能,实现真空管增透与自洁功能一体化,使得玻璃罩管的透光率（在太阳光区间300nm~2600nm）可到95%。

静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。

本文通过故障模式影响及危害性分析的方法对ZQJ-291H型氦质谱检漏仪各组成部分的不同故障进行分析,研究其对系统工作状态的影响。意在识别设备使用过程中的薄弱环节,为该型氦质谱检漏仪的设计、制造、使用等环节提高可靠性的改进提供有效依据。研究结果表明,影响ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性的主要因素为泵油退化和离子源老化,因此建议对离子源损耗方面加大研究力度,进而提高检漏仪的可靠性。

真空冷却是近年发展起来的食品保鲜高新技术,本文对其工作原理以及在蔬果、生鲜食品与熟制调理食品等方面的应用作了阐述。

工业大麻的提取物CBD（大麻二酚）具有极高的医药价值,发展前景广阔。本文介绍了美国市场上配置涡旋式干泵的真空干燥箱在工业大麻行业的应用,并以管窥豹,指出了模块定制、智能高效和清洁环保的真空干燥箱已经成为了行业的发展趋势,同时结合国内真空干燥箱行业的现状,阐述了美国市场的经验对国内真空干燥箱行业的几点启示。

基于高温工作型红外探测器杜瓦组件的发展趋势,对影响杜瓦漏热指标至关重要的传导漏热和辐射漏热作了分析,提出杜瓦设计改进的方法。概括了杜瓦漏热测试的常规方法,并分析其在高工作温度杜瓦漏热测试方面的缺陷。采用真空保护量热法,实现高工作温度型杜瓦组件漏热的可靠测试,推动第三代红外焦平面探测器组件的发展。

采用分布参数法,以行波型热声发动机网络模型为例进行了数值模拟计算,计算所用模型与实验模型具有相同的结构尺寸以及运行工况。计算以线性热声理论为基础,通过MATLAB编程,成功得到了整个热声系统的压力和体积流率分布状况,继而计算出了声功流的分布。

本文利用WRe3热丝对热离子能量转换器中的钼发射极进行了辐射加热。首先通过数值仿真计算出发射极稳态时的功率损失。其次通过实验测试了热丝功率与温度的曲线关系,分析了实验中热丝的表面负荷。对减少热丝变形及优化实验提出了几点建议,为后续的研究打下了坚实的基础。