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真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (3): 78-80.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.18

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第二十讲 真空离子镀膜

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 发布日期:2019-06-26

  • Published:2019-06-26

中图分类号: 

  • O484
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