基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.11

真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (3): 48-51.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.11

基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析

王凯, 崔寓淏, 刘胜

北京卫星环境工程研究所,北京 100094

收稿日期:2018-05-25 发布日期:2019-06-26
作者简介:王凯（1989-）,男,山东省烟台市蓬莱市人,本科,工程师。

Reliability analysis of ZQJ-291H helium mass spectrometer leak detector based on FMECA

WANG Kai, CUI Yu-hao, LIU Sheng

Beijing Institute of Spacecraft Environment Engineering, Beijing 100094, China

Received:2018-05-25 Published:2019-06-26

摘要/Abstract

摘要： 本文通过故障模式影响及危害性分析的方法对ZQJ-291H型氦质谱检漏仪各组成部分的不同故障进行分析,研究其对系统工作状态的影响。意在识别设备使用过程中的薄弱环节,为该型氦质谱检漏仪的设计、制造、使用等环节提高可靠性的改进提供有效依据。研究结果表明,影响ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性的主要因素为泵油退化和离子源老化,因此建议对离子源损耗方面加大研究力度,进而提高检漏仪的可靠性。

关键词: 氦质谱检漏仪, FMECA, 可靠性分析

Abstract: This paper analyzed the different faults of various components of the ZQJ-291H helium mass spectrometer leak detector by means of the failure mode effect and hazard analysis method, and studied the influence on the working status of the system. It is intended to identify the weakness in the use of equipment and provides an effective basis for improving the reliability of this type of helium mass spectrometer leak detector in terms of design, manufacture and use. The results show that the main factors, which affect the reliability of the ZQJ-291H helium mass spectrometer leak detector are the degradation of the pump oil and the aging of the ion source. Therefore, it is recommended to increase the research efforts on the loss of ion source and thus improve the reliability of the leak detector.

Key words: helium mass spectrometer leak detector, FMECA, reliability analysis

中图分类号:

TB774

王凯, 崔寓淏, 刘胜. 基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析[J]. 真空, 2019, 56(3): 48-51.

WANG Kai, CUI Yu-hao, LIU Sheng. Reliability analysis of ZQJ-291H helium mass spectrometer leak detector based on FMECA[J]. VACUUM, 2019, 56(3): 48-51.

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基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析

Reliability analysis of ZQJ-291H helium mass spectrometer leak detector based on FMECA

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