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真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (3): 63-67.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.13

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超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用

田明利1, 邱立1, 董云宁2,3, 陈俊儒2,3, 陈又琦2,3, 唐榕4, 张吉峰4   

  1. 1.中国电子科技集团公司第十二研究所,北京 100016;
    2.北京东方计量测试研究所,北京 100086;
    3.北京市真空计量检测工程技术研究中心,北京 100029;
    4.北京真空电子科技有限公司,北京 100016
  • 收稿日期:2022-04-26 出版日期:2022-05-25 发布日期:2022-06-01
  • 作者简介:田明利（1985-）,男,北京通州人,本科,工程师。

An Application of Ultrasensitive Leak Detection Technology Integrated in High Pumping Speed Automatic Exhaust Table

TIAN Ming-li1, QIU Li1, DONG Yun-ning2,3, CHEN Jun-ru2,3, CHEN You-qi2,3, TANG Rong4, ZHANG Ji-feng4   

  1. 1. The 12th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Beijing 100016, China;
    2. Beijing Orient Institute of Measurement and Test, Beijing 100086, China;
    3. Beijing Engineering Research Center of Vacuum Measurement and Test, Beijing 100029, China;
    4. Beijing Vacuum Electronic Technology Co., Ltd., Beijing 100016, China
  • Received:2022-04-26 Online:2022-05-25 Published:2022-06-01

摘要： 为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10-7~5×10-16Pa·m3/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10-16Pa·m3/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。

关键词: 行波管, 超灵敏检漏, 气体微流量, 不确定度

Abstract: An ultrasensitive leak detection technology applied to high pumping speed automatic exhaust system is designed to solve the problem of small leak detection with leakage rate less than 5×10-12Pa·m3/s in the process of exhaust and sealing off for traveling wave tube. The device is mainly composed of main vacuum system, external vacuum and baking system, cumulative comparison leak detection system, standard gas flow system and electrical control system. The exhaust table has eight stations, whose limit vacuum reaches ultra-high vacuum without load, and the vacuum furnace can be heated to high temperature. The whole process automation of exhaust process is achieved using program control and possessing functions of automatic collection, storage, analysis and transmission. The standard gas flow system can provide a micro flow from 5×10-7Pa·m3/s to 5×10-16Pa·m3/s, and the lower limit of cumulative comparison leak detection system reaches 5×10-16Pa·m3/s, with a combined standard uncertainty of leak detection results less than 15%.

Key words: traveling wave tube, ultra-sensitive leak detection, micro gas flow, uncertainty

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