真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (3): 63-67.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.13
田明利1, 邱立1, 董云宁2,3, 陈俊儒2,3, 陈又琦2,3, 唐榕4, 张吉峰4
TIAN Ming-li1, QIU Li1, DONG Yun-ning2,3, CHEN Jun-ru2,3, CHEN You-qi2,3, TANG Rong4, ZHANG Ji-feng4
摘要: 为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10-7~5×10-16Pa·m3/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10-16Pa·m3/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。
中图分类号:
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