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真空 ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (5): 102-104.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.05.17

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第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 出版日期:2023-09-25 发布日期:2023-09-26

  • Online:2023-09-25 Published:2023-09-26

摘要:

中图分类号:  O484;TB43

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