一种非线性皮拉尼真空变送器校准方法的研究

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2025.03.12

真空 ›› 2025, Vol. 62 ›› Issue (3): 65-69.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2025.03.12

一种非线性皮拉尼真空变送器校准方法的研究

秦璐璐, 高乔枫, 张帅, 刘平, 潘寿虎, 张凯, 商建康

山东省计量科学研究院,山东济南 250102

收稿日期:2024-07-16 出版日期:2025-05-25 发布日期:2025-05-23
作者简介:秦璐璐（1983-）,女,山东省济南市人,硕士,高级工程师。

Study on a Calibration Method of Nonlinear Pirani Vacuum Transmitter

QIN Lulu, GAO Qiaofeng, ZHANG Shuai, LIU Ping, PAN Shouhu, ZHANG Kai, SAHNG Jiankang

Shandong Institute of Metrology, Jinan 250102, China

Received:2024-07-16 Online:2025-05-25 Published:2025-05-23

摘要/Abstract

摘要： 介绍了一种采用比较法真空标准装置对非线性皮拉尼真空变送器直接比较校准的方法,以EDWARD非线性皮拉尼真空计校准不确定度计算为例,详细介绍了整体分析法和逐点分析法两种不确定度分析方法。结果表明：利用最小二乘法进行线性拟合来评定整体不确定度时,对数拟合法较直接拟合法所得结果线性度更好,数据点分布相对均匀;对于该非线性皮拉尼真空计,整体分析法所得扩展不确定度为7%（k=2）,逐点分析法所得1.91 Pa测量点的扩展不确定度为0.04 V（k=2）。

关键词: 非线性皮拉尼真空变送器, 线性拟合, 不确定度分析

Abstract: A direct comparison calibration method for nonlinear Pirani vacuum transmitters using a comparative method vacuum standard device is introduced. Two uncertainty analysis methods, overall analysis method and point by point analysis method, are introduced in detail, taking Edward nonlinear Pirani vacuum gauge calibration uncertainty calculation as the example. The results show that when using the least squares method for linear fitting to evaluate the overall uncertainty, the logarithmic fitting method has better linearity and a relatively uniform distribution of data points compared to the direct fitting method. For this Edward nonlinear Pirani vacuum gauge, the overall analysis method yields an extended uncertainty of 7% （k=2）, while the point by point analysis method yields an extended uncertainty of 0.04 V （k=2） at the 1.91 Pa measurement point.

Key words: nonlinear Pirani vacuum transmitter, linear fitting, uncertainty analysis

中图分类号: TB772

秦璐璐, 高乔枫, 张帅, 刘平, 潘寿虎, 张凯, 商建康. 一种非线性皮拉尼真空变送器校准方法的研究[J]. 真空, 2025, 62(3): 65-69.

QIN Lulu, GAO Qiaofeng, ZHANG Shuai, LIU Ping, PAN Shouhu, ZHANG Kai, SAHNG Jiankang. Study on a Calibration Method of Nonlinear Pirani Vacuum Transmitter[J]. VACUUM, 2025, 62(3): 65-69.

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