正压漏孔校准装置体积系数测试分析

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2025.04.05

摘要/Abstract

摘要： 采用体积补偿法正压漏孔校准装置校准正压漏孔,体积系数的准确测量是关键。为了提升体积系数的测量准确度,本文在无漏孔和有漏孔两种情况下研究了体积系数与差压的关系,测试了同一可调漏率漏孔在不同漏率下体积系数的一致性。对测试结果进行理论分析后,通过制作模拟接头和修正ΔP的方法进行体积系数修正,最后测试了定值漏孔的体积系数稳定性。结果表明,修正后的体积系数测试准确性和稳定性明显改善,两种修正方法的一致性小于0.2%,稳定性均小于0.5%。

关键词: 正压漏孔, 体积系数, 体积补偿法, 差压, 漏率

Abstract: Accurate measurement of volume coefficient is the key for pressure leaks calibration by volume compensation pressure leak calibration device. In order to improve the measurement accuracy of the volume coefficient, the relationship between volume coefficient and differential pressure in two cases of without and with leaks was studied, and the consistency of volume coefficient of the same adjustable leak under different leak rates was tested in this paper. The volume coefficient was corrected by making simulation joints and correcting ΔP based on theoretical analysis of test results. Finally, the volume coefficient stability of the fixed value leak was tested. The results show that the accuracy and stability of the corrected volume coefficient test are significantly improved, and the test consistency of the two correction methods is less than 0.2%, and the stability is less than 0.5%.

Key words: pressure leak, volume coefficient, volume compensation method, differential pressure, leak rate

中图分类号: TB77

杨春节, 万宇鹏, 高晓迪, 张海锭. 正压漏孔校准装置体积系数测试分析[J]. 真空, 2025, 62(4): 29-33.

YANG Chunjie, WAN Yupeng, GAO Xiaodi, ZHANG Haiding. Test and Analysis of Volume Coefficient of Pressure Leak Calibration Device[J]. VACUUM, 2025, 62(4): 29-33.

参考文献

[1] 张瑞芳,张涤新,赵澜,等. 比较法正压漏孔校准结果的不确定度评定[J]. 真空与低温,2015,21(6):348-350.
[2] 张涤新,张建军,许珩,等. 正压漏孔校准装置的设计[J]. 中国空间科学技术,2001,21(1):57-65.
[3] 刘楚彦,刘招贤,任国华,等. 温度对石墨烯真空标准漏孔漏率的影响研究[J]. 真空,2024,61(2):37-41.
[4] 耀文,齐京,陈旭,等. 定容法正压漏孔校准装置[J]. 真空科学与技术学报,2014,34(6):579-584.
[5] 冯焱,张涤新,成永军,等. 正压漏孔校准装置优化设计[J]. 真空,2009,46(4):72-75.
[6] BERGOGLIO M, MARI D.INRIM primary standard for microgas-flow measurements with reference to atmospheric pressure[J]. Measurement,2012,45(10):2459-2463.
[7] MORGADO I, LEGRAS J C, CLODIC D, et al.Primary standard for the calibration of refrigerant leak flow rates[J]. Metrologia,2010,47(3):135-145.
[8] JOUSTEN K, BECKER U.A primary standard for the calibration of sniffer test leak devices[J].Metrologia, 2009, 46(5):560.
[9] BERGOGLIO M, MARI D.Leak rate metrology for the society and industry[J].Measurement, 2012, 45(10):2434-2440.
[10] ISO 20486:2017. Non destructive testing-leak testing-calibration of reference leaks for gasesSO 20486:2017. Non destructive testing-leak testing-calibration of reference leaks for gases[S]. Switzerland Gevena: International Standardization Organization Copyright Office, 2017.
[11] ASTM E908-98(2012). Standard practice for calibrating gaseous reference leaks[S]. US West Conshohocken: American Society of Testing Materials, 2012.
[12] 张海锭,杨春节,万宇鹏,等. 体积补偿式正压漏孔校准方法改进分析[J]. 真空科学与技术学报,2021,41(12):1203-1207.
[13] 庞嘉炜,高建强,陈光奇,等. 薄壁构件的氦质谱正压-真空检漏试验研究[J]. 真空,2025,62(1):15-20.
[14] 赵澜,成永军,孙雯君,等. 静态累积比较法真空漏孔校准方法研究[J]. 真空,2019,56(3):44-47.
[15] 冯焱,李得天,张涤新,等. 正压漏孔校准技术的发展概况[J]. 真空,2013,50(1):41-47.
[16] 张书令,许红,洪扁,等.正压标准漏孔校准装置[J].中国测试,2015,41(增刊1):6-9.
[17] 刘贝贝,许红,张斯宏. 定容法正压漏孔校准装置的不确定度分析[J]. 计量与测试技术,2021,48(10):120-122.
[18] 王金锁,许红,胡央丽,等. 正压漏孔校准装置的研制[J]. 真空科学与技术学报,2004,24(6):439-441.
[19] 卢耀文,刘志宏,闫荣鑫,等. 一种下限为10^-10 Pa·m³/s正压漏孔校准装置[J]. 真空科学与技术学报,2018,38(12):1019-1024.
[20] 刘波,丁立莉,张蕾. 正压漏孔校准装置性能研究[J]. 真空与低温,2018,24(3):162-166.
[21] 张涤新,李得天,张建军,等. 正压漏孔校准装置[J]. 真空科学与技术学报,2001,21(1):55-59.

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[1]	庞嘉炜, 高建强, 陈光奇, 李杰, 魏裕隆. 薄壁构件的氦质谱正压-真空检漏试验研究[J]. 真空, 2025, 62(1): 15-20.
[2]	王婧华, 王蓝陵, 林文豫, 吴俊, 曹青, 王旭迪. 差压法测定NEG吸氢性能^*[J]. 真空, 2024, 61(3): 51-56.
[3]	刘招贤, 孟冬辉, 任国华, 张骁, 韩琰, 刘楚彦, 孙立臣, 闫荣鑫. 亚纳米孔石墨烯复合薄膜新型标准漏孔制备及其渗氦性能研究^*[J]. 真空, 2024, 61(1): 21-26.
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[5]	孙鹏远, 荀华宝, 付文, 董升朝, 徐哲. 氦质谱检漏在印刷板式换热器中的应用[J]. 真空, 2022, 59(2): 21-25.
[6]	任琪琛, 孙志和, 王沛, 胡居利, 卢毛磊, 黄倩. O形橡胶圈真空密封性能有限元分析[J]. 真空, 2021, 58(5): 37-41.
[7]	刘国庭, 成永军, 陈联, 王玉洁, 孙雯君, 董猛, 吴成耀, 宋伊, 魏宁斐. 利用漏率间接测量密封件真空度方法的研究[J]. 真空, 2021, 58(3): 59-64.
[8]	贺平. 复合材料筒体泄漏率测试方法研究[J]. 真空, 2020, 57(6): 54-58.
[9]	张海峰, 孙立臣, 郭崇武, 齐飞飞, 李文斌. 生物试验载荷压升法总漏率测试技术研究^*[J]. 真空, 2020, 57(4): 46-49.
[10]	李雪峰, 马强, 李晓明, 王智荣, 吴爱荣, 刘成. 真空脱蜡烧结炉中差压式载气脱蜡原理的应用^*[J]. 真空, 2020, 57(4): 32-35.
[11]	邢银龙, 李波, 吴杰峰, 刘志宏, 周能涛. ITER绝缘线圈氦质谱压力检测优化分析[J]. 真空, 2019, 56(4): 15-18.
[12]	任国华, 李征, 孙立志, 窦仁超, 孟冬辉, 张海峰, 赵月帅, 闫荣鑫. 热管检漏技术研究[J]. 真空, 2019, 56(4): 6-9.
[13]	刘兴悦, 王振, 窦仁超, 崔寓淏, 杨定魁. 基于莱宝检漏仪的航天器总漏率测试技术研究[J]. 真空, 2019, 56(2): 62-65.
[14]	武越, 鄂东梅, 杜鹏, 郭子寅, 陈时雨, 王晶 . 航天器密封舱连接处漏率检测方法[J]. 真空, 2018, 55(6): 1-4.

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