真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (5): 38-44.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.05.07
李志胜1, 刘小江2, 段玉权3, 林琼3, 王晓冬4
LI Zhi-sheng1, LIU Xiao-jiang2, DUAN Yu-quan3, LIN Qiong3, WANG Xiao-dong4
摘要: 随着聚对二甲苯(Parylene)镀膜技术的快速发展和应用,如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注。本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析,结合稀薄气体流动特性、传热学及工业化生产需求,设计研制了采用内置裂解加热器的聚对二甲苯真空镀膜设备。同时,根据聚对二甲苯镀膜室特有的环境工况以及膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌的特性,提出了对鲜花和低水分干种子进行镀膜保护的工艺研究,拓展了聚对二甲苯镀膜技术在农业领域的应用。
中图分类号:
[1] GORHAM W F.A new, general synthetic method for the preparation of linear poly-p-xylylenes[J]. Journal of Polymer Science Part A-1: Polymer Chemistry, 1966, 4(12): 3027-3039. [2] 郑强, 丁有容. 聚对二甲苯的制备、结构、性能及应用[J]. 上海第二工业大学学报, 1984: 125-133. [3] 顾丽云, 陈曦. 新型高分子材料——聚对二甲苯[J]. 广东塑料, 1993(3): 20-24. [4] 胡国贞, 陈梦雪, 肖湘竹. 薄膜涂层材料——聚对二甲苯[J]. 成都教育学院学报, 2005, 19(1): 43-44. [5] 张厚瑛. 聚对二甲苯综述[J]. 化工新材料, 1983(4): 2-5. [6] 王永刚. Parylene——一种新型机载设备敷型防护涂层材料[J]. 航空精密制造技术, 2003, 38(1): 16-18,33. [7] 昝丽娜. 聚对二甲苯的制备及其应用研究进展[J]. 化学推进剂与高分子材料, 2008, 6(5): 22-24. [8] 石红. Parylene真空涂覆新工艺研究[J]. 航空精密制造技术, 2002, 38(1): 19-21. [9] 张占文, 李波, 王朝阳, 等. 气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜[J]. 材料导报, 2003, 17(6): 86-87. [10] 吴礼群. Parylene敷形涂层[J]. 电子机械工程, 2004, 20(6): 51-53,61. [11] LAHANN J, KLEE D, HOOKER H.Chemical vapour deposition polymerization of substituted[2.2]paracyclophane[J]. Macromol Rapid Commun, 1998, 19(9): 441-444. [12] 孙霞容, 浦鸿汀. 聚对苯二甲基膜得化学气相沉积(CVD)聚合[J]. 材料导报, 2004, 18(3): 54-56. [13] HONG T K, KOO T, PARK C.Parylene-C thin films deposited on polymer substrates using a modified chemical vapor condensation method[J]. Korean Journal of Chemical Engineering, 2010, 27(3): 748-751. [14] 王晓冬, 巴德纯, 张世伟, 等. 真空技术[M]. 北京: 冶金工业出版社, 2006: 55-62. [15] 徐成海, 巴德纯, 于溥, 等. 真空工程技术[M]. 北京: 化学工业出版社, 2006: 499-512. [16] 顾丽云, 陈曦, 洪书宝, 等. 介绍一种保存昆虫标本的新方法[J]. 昆虫知识, 1994(2): 117-118. [17] 邓志军, 宋松泉, 艾训儒, 等. 植物种子保存和检测的原理与技术[M]. 北京: 科学出版社, 2019: 75-92. |
[1] | 王冬远, 周甜, 陈强, 刘忠伟. 钯金属薄膜制备方法的研究现状与进展*[J]. 真空, 2022, 59(5): 7-13. |
[2] | 王鑫, 甄真, 牟仁德, 何利民, 许振华. 沉积真空度对铝化物涂层相结构和高温氧化行为的影响*[J]. 真空, 2022, 59(5): 20-27. |
[3] | 王立哲, 蔡妍, 张儒静, 何利民, 牟仁德. 单晶高温合金CVD铝化物涂层对热障涂层高温防护性能的影响*[J]. 真空, 2022, 59(4): 56-63. |
[4] | 祝维, 陆群旭, 钱维金, 黄卫军, 董长昆. 新型碳纳米管微焦点电子源研究*[J]. 真空, 2022, 59(1): 48-53. |
[5] | 杨光, 刘欢, 王丁丁, 罗立平, 吕绪明, 祁阳. 微米级裂纹对水冷无氧铜坩埚的影响*[J]. 真空, 2021, 58(4): 81-86. |
[6] | 李国浩, 巴德纯, 王栋, 陈红斌, 张洪琦, 杜广煜. EB-PVD制备YSZ涂层的热震性研究*[J]. 真空, 2020, 57(3): 1-4. |
[7] | 王鑫, 许振华, 彭超, 戴建伟, 甄真, 何利民, 牟仁德. 单晶高温合金铂改性铝化物涂层的高温防护性能研究*[J]. 真空, 2020, 57(3): 11-16. |
[8] | 李 琳 , 李成明 , 杨功寿 , 胡西多 , 杨少延 , 苏 宁 . 三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟[J]. 真空, 2019, 56(1): 34-38. |
[9] | 周彬彬, 张 建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10-14. |
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