欢迎访问沈阳真空杂志社 Email Alert    RSS服务

真空 ›› 2025, Vol. 62 ›› Issue (3): 94-96.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2025.03.17

• 真空技术及应用系列讲座 • 上一篇    下一篇

第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 出版日期:2025-05-25 发布日期:2025-05-23

  • Online:2025-05-25 Published:2025-05-23

中图分类号:  O484;TB43

[1] 绪方洁, 铃木泰雄, 毕婷婷. PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用[J]. 真空, 2025, 62(2): 68-76.
[2] 陆美杰, 郑梓宏, 高伟楠, 郑浩梽, 刘恭文, 连松友, 徐荣网, 王江涌. 薄膜深度剖析定量分析软件的开发*[J]. 真空, 2025, 62(1): 37-43.
[3] 张以忱. 第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术[J]. 真空, 2025, 62(1): 86-88.
[4] 陈玉云, 王晓旭, 陈远明, 沈奕, 黄锐. 磁控溅射氧化硅和氧化硅/氮化硅/氧化硅薄膜绝缘性能的研究*[J]. 真空, 2024, 61(6): 15-20.
[5] 张以忱. 第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术[J]. 真空, 2024, 61(6): 85-88.
[6] 白皓宇, 姚春龙, 董明, 秦瑞, 白永浩, 王奕楠. 超高陡度长波通拉曼滤光片的研制[J]. 真空, 2024, 61(4): 12-16.
[7] 李瑞东, 金大利, 张梅东, 于立苹, 王建伟. 不同试验条件对非晶硒薄膜中载流子迁移率的影响*[J]. 真空, 2024, 61(4): 17-21.
[8] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2024, 61(4): 102-104.
[9] 李灿民, 董中林, 夏正卫, 张心凤, 魏荣华. 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的显微组织和性能[J]. 真空, 2024, 61(2): 10-15.
[10] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2024, 61(2): 86-88.
[11] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2024, 61(1): 87-88.
[12] 吴小虎, 呼书杰, 孙恩泽, 张鑫, 赵琦. 面向大空间建筑的氟化非晶碳薄膜性能调控方法研究*[J]. 真空, 2023, 60(6): 42-46.
[13] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2023, 60(6): 87-88.
[14] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2023, 60(5): 102-104.
[15] 张以忱. 第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术[J]. 真空, 2023, 60(4): 85-88.
Viewed
Full text


Abstract

Cited

  Shared   
  Discussed   
No Suggested Reading articles found!