纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展*

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11

真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (6): 60-63.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11

纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展^*

丁孙安, 杨辉

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123

收稿日期:2019-08-26 出版日期:2019-11-25 发布日期:2019-12-03
作者简介:丁孙安（1965-）,男,山西省运城市人,博士,研究员。
基金资助:
国家自然科学基金项目（61674165,21625304, 51473184,11504408,21688102,91545204,21621063）; 科技部项目（2016YFA0202803,2016YFA0200703）; 先导项目（XDB17020000）

Introduction of Nano-X and it's Application Progress

DING Sun-an, YANG Hui

Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Academy of Science, Suzhou 215123, China

Received:2019-08-26 Online:2019-11-25 Published:2019-12-03

摘要/Abstract

摘要： 进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定。为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中。本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展。

关键词: 纳米, 表面污染, 真空环境, 真空互联大装置, 重要进展

Abstract: After entering the nano era, the properties of nano-materials and nano-devices are not only determined by the properties of bulk materials, but also by the properties of material′s surface and interface. In order to avoid ucontrollable changes and damages caused by surface contaminations, the thin film materials and nano-scale devices must be processed in ultra-high vacuum environment. This paper introduces the necessity, functions and applications of Nano-X.

Key words: nano, surface contamination, vacuum environment, Nano-X, important progress

中图分类号:

TB753+.3

丁孙安, 杨辉. 纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展^*[J]. 真空, 2019, 56(6): 60-63.

DING Sun-an, YANG Hui. Introduction of Nano-X and it's Application Progress[J]. VACUUM, 2019, 56(6): 60-63.

参考文献

[1] Wang X L, Zhao Y F, Huang R, et al. Thermal stability study of GaP/High-k dielectrics interfaces[J/OL]. Advanced Materials Interface, 2017, 4(20). [2017-10-23]. https://doi.org/10.1002/admi.201700609.
[2] Meng C X, Li Y F, Wu H, et al.Structural transformation of h-BN overlayers on Pt(111) in oxidative atmospheres[J]. Phys. Chem. Chem. Phys., 2018, (20): 11013-11020.
[3] 赵新飞,陈浩,吴睿,等. 氧化锌有序结构在Au(111)和Cu(111)上的生长(英文)[J]. 物理化学学报,2018,12:1379-1380.
[4] Chen Q, Ye F Y, Lai Y Q, et al.Energy band alignment in operando inverted structure P3HT:PCBM organic solar cells[J]. Nano Energy, 2017,40: 454-461.
[5] Cui Y, Pan Y, Meyer T, et al.Formation of Magic Isophorone Islands on Au(111): Interplay between Dipole Interactions and Hydrogen Bonding[J]. J. Phys. Chem. C., 2017, 121(8): 4318-4323.
[6] Zhang Z L, Li W Y, Fu K, et al[J]. IEEE Electron Devices Letters, 2017, 38(2): 236-239.
[7] Zhong Y Z, Zhou Y, Gao H W,et al.Self-terminated etching of GaN with a high selectivity over AlGaN under inductively coupled Cl2/N2/O2 plasma with a low-energy ion bombardment[J]. Applied Surface Science, 2017,420: 817-824.
[8] Xu Q Q, Zhao J W, Pecunia V, et al.Selective Conversion from p-Type to n-Type of Printed Bottom-Gate Carbon Nanotube Thin-Film Transistors and Application in Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Inverters[J]. ACS Appl. Mater. Interfaces, 2017, 9(14): 12750-12758.
[9] Hu J X, Xu J B, Zhao Y F, et al. Roles of Oxygen and Hydrogen in Crystal Orientation Transition of Copper Foils for High-Quality Graphene Growth[J/OL]. Scientific Report, 2017, 7:45358[2017-04-03].https://www.nature.com/articles/srep45358.

Metrics

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed

本文评价

推荐阅读 10

[1]	李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙健, 李刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1 -9 .
[2]	周彬彬, 张建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10 -14 .
[3]	李志胜. 空间环境下超大型红外定标用辐射屏蔽门的研制[J]. 真空, 2018, 55(5): 66 -70 .
[4]	郑列, 李宏. 200kV/2mA 连续可调直流高压发生器的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 10 -13 .
[5]	柴晓彤, 汪亮, 王永庆, 刘明昆, 刘星洲, 干蜀毅. 基于 STM32F103 单片机的单泵运行参数数据采集系统[J]. 真空, 2018, 55(5): 15 -18 .
[6]	孙立志, 闫荣鑫, 李天野, 贾瑞金, 李征, 孙立臣, 王勇, 王健, 张强. 放样氙气在大型收集室内分布规律研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 38 -41 .
[7]	黄思 , 王学谦 , 莫宇石 , 张展发 , 应冰 . 液环压缩机性能相似定律的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 42 -45 .
[8]	纪明, 孙亮, 杨敏勃. 一种用于对月球样品自动密封锁紧的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 24 -27 .
[9]	李民久, 熊涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川. 基于双管正激式变换器的金属表面去毛刺 20kV 高压脉冲电源[J]. 真空, 2018, 55(5): 19 -24 .
[10]	刘燕文, 孟宪展, 田宏, 李芬, 石文奇, 朱虹, 谷兵, 王小霞 . 空间行波管极高真空的获得与测量[J]. 真空, 2018, 55(5): 25 -28 .

纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展^*

Introduction of Nano-X and it's Application Progress

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 6

Metrics

本文评价

推荐阅读 10

[1]	何剑锋, 黄卫军, 董长昆. 新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计[J]. 真空, 2019, 56(6): 12-15.
[2]	彭润玲, 尹沙沙, 韦妍, 刘德荣, 王宁. 真空冷冻干燥法制备无机纳米粉的研究现状^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 77-84.
[3]	李建, 童洪辉, 但敏, 金凡亚, 王坤, 陈伦江. 场致发射电子源的应用及其研究进展[J]. 真空, 2019, 56(3): 27-31.
[4]	尹沙沙, 彭润玲, 韦妍, 曹蔚, 王宁. 真空冷冻干燥法制备纳米二硫化钼的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(6): 80-83.
[5]	李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙健, 李刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1-9.
[6]	周彬彬, 张建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10-14.