真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (1): 68-73.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.11
方庆国, 王宗林, 张俊, 王旭迪
FANG Qing-guo, WANG Zong-lin, ZHANG Jun, WANG Xu-di
摘要： 研制了一种基于无转移聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）或聚酰亚胺（PI）的漏孔元件。通过在铜箔上旋涂PMMA或PI,另一面旋涂光刻胶,并利用紫外光刻打孔,在铜箔上刻蚀出了不同阵列的直径约10 μm的小孔。基于差压法测量了氦气通过该标准漏孔元件的流导。结果表明：在从5 kPa到105 Pa压力范围内,各测试样品均表现出分子流动状态;无转移PMMA或PI的流导和有效渗透面积呈线性关系,可通过控制小孔数量来控制PMMA或PI的有效渗透面积,从而获得不同的流导;所开发的无转移PMMA或PI为优良的低渗透漏孔理想材料。
中图分类号: TB77
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