真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (5): 28-31.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.05.05
刘洋, 张雅楠, 高晟元, 赵祯赟, 郑明昊, 黄美东
LIU Yang, ZHANG Ya-nan, GAO Sheng-yuan, ZHAO Zhen-yun, ZHENG Ming-hao, HUANG Mei-dong
摘要: 采用多弧离子镀膜法制备了ZrN单层膜和不同调制比的Zr/ZrN多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明:多层膜中ZrN有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/ZrN多层膜的硬度高于单层ZrN薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1∶1时,Zr/ZrN多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N。
中图分类号:
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