真空 ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (2): 73-77.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.02.13
宋静思1, 张强2, 左野1, 陈久强1, 李秀章1, 李宏磊1, 张哲魁1
SONG Jing-si1, ZHANG Qiang2, ZUO Ye1, CHEN Jiu-qiang1, LI Xiu-zhang1, LI Hong-lei1, ZHANG Zhe-kui1
摘要: 本文首先介绍了目前真空冷坩埚感应凝壳炉的发展现状,分析了特殊工艺下传统型真空冷坩埚感应凝壳炉存在的问题。基于此,提出一种新型真空冷坩埚感应凝壳炉(连续型炉)的设计构型,简要介绍了其结构特点及工作流程。最后分析了该型设备相比传统构型的优点与未来发展前景。
中图分类号:
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