真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (4): 52-57.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.04.10
岳泰, 何超峰, 王希龙, 孙兴中, 云永琥, 陈伟, 杜文清, 陈耀锋
YUE Tai, HE Chao-feng, WANG Xi-long, SUN Xing-zhong, YUN Yong-hu, CHEN Wei, DU Wen-qing, CHEN Yao-feng
摘要: 深圳中能高重复频率X射线自由电子激光装置(简称S3FEL)注入器 1.3 GHz低温超导加速模组的高功率耦合器热窗的真空泵端口通过角阀连接到真空总管,从而便于安装、检漏和故障诊断。为了保证超导加速模组降温前耦合器热窗的极限压力达标,通过理论计算与软件模拟,对比验证了在不同方案下耦合器所能维持的极限真空度。结果表明:未经处理的耦合器A管采用单台离子泵方案,其极限真空度未能达到实际工程指标;而高温烘烤耦合器A管后,其极限真空度达到10-7 Pa量级,优于实际工程指标;耦合器A管设置两台离子泵后极限压力下降50%,可通过继续增加离子泵数量的方法使其满足工程指标。
中图分类号: TH36;TN622
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