超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜关键技术研究

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2025.03.10

摘要/Abstract

摘要： 详细介绍了超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜设备的工作原理、结构组成和关键技术设计要点,分析了影响镀膜质量与生产效益的主要因素,重点论述了超薄基材镀膜技术难点和解决方案。通过优化卷绕系统辊系布局和磁控溅射系统结构,以及在镀膜辊面增加绝缘陶瓷层,有效解决了薄膜热损伤问题。该优化方法有利于提升新能源锂电池复合铜箔材料的品质和生产效率,加速新能源锂电池复合集流体负极材料的批量化生产。

关键词: 超薄基材, 磁控溅射, 双面镀膜, 陶瓷层, 热损伤

Abstract: The working principle, structural composition, and key technical design points of the vacuum magnetron sputtering winding copper coating equipment for ultra-thin flexible substrates with double-sided coating were introduced in detail. The main factors affecting the coating quality and production efficiency were analyzed. The technical difficulties and solutions of ultra-thin substrate coating were mainly discussed. By optimizing the roll system layout of winding system and the structure of magnetron sputtering system, and adding insulating ceramic layer on the coating roller surface, the thermal damage of the film is effectively solved. This optimization method can improve the production quality and efficiency of composite copper foil materials for new energy lithium batteries, and accelerate the mass production of composite current collector negative electrode materials for new energy lithium batteries.

Key words: ultra-thin substrate, magnetron sputtering, double-sided coating, insulation ceramic layer, thermal damage

中图分类号: TB79;TB43

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