用于OLED试验的小型真空制备系统设计

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.02

真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (3): 6-9.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.02

用于OLED试验的小型真空制备系统设计

隋文, 张驰, 李建昌

东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心,辽宁沈阳 110819

收稿日期:2018-05-28 发布日期:2019-06-26
通讯作者: 李建昌,教授,博导。
作者简介:隋文（1994-）,男,辽宁省丹东市人,硕士生。

Design of a small-scale vacuum fabrication system specialized for studying organic light-emitting diodes

SUI Wen, ZHANG Chi, LI Jian-chang

Vacuum and Fluid Engineering Research Center, School of Mechanical Engineering and Automation, Northeastern University, Shenyang 110819, China

Received:2018-05-28 Published:2019-06-26

摘要/Abstract

摘要： 基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。

关键词: OLED器件, 真空蒸发镀膜, 手套箱, OLED封装

Abstract: A small-scale vacuum evaporation system specialized for organic light-emitting diodes (OLED) research was designed based on the advantages of worldwide OLED fabrication systems. The mask cassette, evaporation chamber, transition chamber and glove box were arranged in line. Organic thin films and electrodes for OLED devices with different structures can be deposited in-situ in the system, which satisfies the requirements of ultra-low water and oxygen content for device packaging. The system structure, core components and pumping system were analyzed and calculated.

Key words: OLED device, vacuum evaporation, glove box, OLED package

中图分类号:

TB753+.2

隋文, 张驰, 李建昌. 用于OLED试验的小型真空制备系统设计[J]. 真空, 2019, 56(3): 6-9.

SUI Wen, ZHANG Chi, LI Jian-chang. Design of a small-scale vacuum fabrication system specialized for studying organic light-emitting diodes[J]. VACUUM, 2019, 56(3): 6-9.

参考文献

[1] 刘刚, 刘波, 彭继等. 有机电致发光器件驱动技术的发展[J]. 照明工程学报, 2015, 26(05): 116-126.
[2] Reisdorffer F, Garnier B, Rendu P L, et al.Use of an OLED as a thermal source to supply integrated organic Peltier unit[J]. Applied Thermal Engineering. 2015, 76: 530-534.
[3] Buso D, Bhosle S, Liu Y, et al.OLED Electrical Equivalent Device for Driver Topology Design[J]. IEEE Transactions on Industry Applications. 2014, 50(2): 1459-1468.
[4] 马东阁. OLED显示与照明——从基础研究到未来的应用[J]. 液晶与显示, 2016, 31(3): 229-241.
[5] Sekine C, Tsubata Y, Yamada T, et al.Recent progress of high performance polymer OLED and OPV materials for organic printed electronics[J]. Science & Technology of Advanced Materials. 2016, 15(3): 34203-34217.
[6] Volkert P, Jiang X, Xu C.Characterization and compensation of OLED aging in a digital AMOLED system[J]. Journal of the Society for Information Display. 2015, 23(12): 570-579.

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[1]	周彬彬, 张建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10 -14 .
[2]	刘燕文, 孟宪展, 田宏, 李芬, 石文奇, 朱虹, 谷兵, 王小霞 . 空间行波管极高真空的获得与测量[J]. 真空, 2018, 55(5): 25 -28 .
[3]	徐法俭, 王海雷, 赵彩霞, 黄志婷. 化学气体真空 - 压缩回收系统在环境工程中应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 29 -33 .
[4]	冉彪, 李刘合. 阳极层离子源的发展及应用[J]. 真空, 2018, 55(5): 51 -57 .
[5]	韦俊 , 刘志宏 , 李波 , 陈晓莉 . 大口径氧化铝陶瓷与不锈钢材料的封接及其真空检漏[J]. 真空, 2018, 55(5): 62 -65 .
[6]	赵彦辉, 史文博, 刘忠海, 刘占奇, 于宝海. 电弧离子镀沉积工艺参数的影响[J]. 真空, 2018, 55(6): 49 -59 .
[7]	亚历山德罗·阿巴特科拉. 一种用于粒子加速器的新型高流导离子泵[J]. 真空, 2019, 56(1): 16 -19 .
[8]	骆伟. 凝汽器真空系统节能改造应用与分析[J]. 真空, 2018, 55(6): 37 -41 .
[9]	刘顺明, 宋洪, 董海义, 关玉慧, 刘盛画. 四极质谱在漂移管直线加速器上的应用[J]. 真空, 2018, 55(6): 5 -9 .
[10]	郭崇武, 孙立臣, 孙立志, 齐飞飞, 李文斌. 单 O 型圈密封结构中双层密封泄漏机理研究[J]. 真空, 2018, 55(6): 19 -23 .

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