真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (2): 42-46.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.02.07
窦仁超1, 崔寓淏1, 喻新发1, 冯琪1, 刘坤2, 闫荣鑫1, 孙立臣1, 孟冬辉1
DOU Ren-chao1, CUI Yu-hao1, YU Xin-fa1, FENG Qi1, LIU Kun2, YAN Rong-xin1, SUN Li-chen1, MENG Dong-hui1
摘要: 设计了一种空间微型质谱仪用三电极场芯片级离子源结构,该离子源由5层电极板构成气体电离区和离子引出区。采用MEMS技术制备了芯片级离子源原理样机,测试了其电子流、离子流和稳定性。结果表明:该芯片级离子源能够产生0.357 mA以上的电子流,接收到的离子流可以达到527 pA,满足空间探测任务中微小型质谱仪离子源的功能要求。
中图分类号: TB774
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