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真空 ›› 2026, Vol. 63 ›› Issue (1): 109-112.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2026.01.17

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第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 出版日期:2026-01-25 发布日期:2026-02-02

No. 23: Ion Implantation and Ion Assisted Deposition Technology

ZHANG Yichen   

  • Online:2026-01-25 Published:2026-02-02

中图分类号:  O484;TB43

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