真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究*

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.14

真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (5): 69-73.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.14

真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究^*

靳朋礼¹, 巩春志^1,*, 孔营¹, 张鑫¹, 马玉山², 刘海波², 何涛², 岳玲², 田修波¹

1.哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨 150001;
2.吴忠仪表有限责任公司,宁夏吴忠 751100

收稿日期:2019-01-09 发布日期:2019-10-15
通讯作者: 巩春志,副教授
作者简介:靳朋礼（1992-）,男,安徽省阜阳市人,博士生。
基金资助:
*国家自然科学基金（No.11675047,No. 11875119,No. 51811530059）,吴忠仪表有限责任公司协同创新项目（WZYB-XTCX-002）

Study on the Effectiveness of Simple and Quick Alcohol Leak Detection in Vacuum Coating Equipment

JIN Peng-li¹, GONG Chun-zhi¹, KONG Ying¹, ZHANG Xin¹, MA Yu-shan², LIU Hai-bo², HE Tao², YUE Ling², TIAN Xiu-bo¹

1.State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
2.Wuzhong Instrument Co., Ltd., Wuzhong 751100, China.

Received:2019-01-09 Published:2019-10-15

摘要/Abstract

摘要： 由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影响因素。得出如下结论：真空室气压低于5.0×10^-3 Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10^-3Pa~9.9×10^-3Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10^-2Pa~9.9×10^-2Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×10^-1Pa~9.9×10^-1Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检。简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检。以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导。

关键词: 真空, 检漏, 酒精, 氦质谱检漏仪

Abstract: Due to the lack of uniform specifications, how to use alcohol to efficiently and quickly determine the leak point has always been a key concern for vacuum coating companies. In this paper, the effectiveness of the alcohol spray leak detection in vacuum coating equipment is studied, and the cesium mass spectrometer leak detection is used for verification and calibration. The three main influencing factors including air pressure working range, pumping rate and leak point structure are systematically studied. The following conclusions, the alcohol-based leak detection and helium mass spectrometry leak detection of vacuum coating equipment were studied. It was mainly found that, in the 1.0×10^-1Pa~9.9×10^-1Pa pressure range due to the large size of the leak point, after the alcohol is sprayed, the air pressure rises directly and then falls. However, in the air pressure range of 5.0×10^-3Pa~9.9×10^-2Pa, the air pressure trend of alcohol leakage detection is firstly decreased, then increased and then decreased. When the air pressure is lower than 5.0×10^-3Pa, the alcohol leak detection cannot detect the leak point. At different pump speeds, compared with the operation of two molecular pumps, the alcohol and helium mass spectrometer leak detectors have a long waiting time and are prone to miss detection when a molecular pump is working for leak detection. In the case of alcohol leak detection, the complex leaky point pressure reaction takes longer than the simple structure leak point. The above research results provide effective guidance for vacuum production and application units using alcohol efficient and easy leak detection.

Key words: vacuum, leak detection, alcohol, helium mass spectrometer leak detector

中图分类号:

TB774

靳朋礼, 巩春志, 孔营, 张鑫, 马玉山, 刘海波, 何涛, 岳玲, 田修波. 真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 69-73.

JIN Peng-li, GONG Chun-zhi, KONG Ying, ZHANG Xin, MA Yu-shan, LIU Hai-bo, HE Tao, YUE Ling, TIAN Xiu-bo. Study on the Effectiveness of Simple and Quick Alcohol Leak Detection in Vacuum Coating Equipment[J]. VACUUM, 2019, 56(5): 69-73.

参考文献

[1] 李德, 朱宝权. 大容器真空检漏难点分析及检漏各阶段应考虑的问题[J]. 中国化工装备, 2015(1):12-15.
[2] 黄文平, 朱长平. 基于氦质谱检漏的吸枪检漏技术研究[J]. 中国仪器仪表, 2016(10).
[3] 邢建海. 利用氦质谱检漏仪进行真空系统检漏[J]. 价值工程, 2016, 35(26).
[4] 王勇. 基于氦质谱检漏仪的清氦技术研究[J]. 中国仪器仪表, 2017(5).
[5] 黄文平, 王成智. 基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究[J]. 电子技术与软件工程, 2016(4):98-99.
[6] 管地,王金库,于红燕,等.基于检漏仪的全自动真空氦漏孔校准方法研究[J].真空,2018,55(1):22-24.
[7] 张海峰,孙立臣,孙立志,等.空间站用高温截止阀氦质谱检漏技术研究[J].真空,2018,55(2):45-48.
[8] 姬向锋. 真空检漏技术在自耗电弧炉维修中的应用[J]. 真空, 2016,53(1):66-68.
[9] 郭军. 氦质谱检漏仪漏率校准方法探讨[J].计量与测试技术,2018,45(3):72-73.
[10] 王鸿雁,陈联,孙冬花,等.氦质谱压力真空检漏法在高压容器检测中的优化分析[J].真空,2017,54(5):15-18.
[11] 李晓潮,王钢荣,吴琼瑶,等.酒精粗检漏在CCD中的应用[J].电子产品可靠性与环境试验,2012,30(3):16-18.
[12] 陶务纯,王胜,郭波.真空检漏方法与应用[J].设备管理与维修,2008(5):21-23.
[13] 贺贤能. 真空设备的检漏[J].光电子学技术,1986(01):18-25.
[14] Huang X.Investigation of leak detection method by means of measuring the pressure increment in vacuum[J]. Vacuum, 2006, 80(9):996-1002.
[15] 龙天渝,童思陈主编. 流体力学[M]. 重庆:重庆大学出版社, 2012.10.
[16] 杨琴. 微纳尺度气流的速度滑移及流动特性研究[D].上海大学,2015.

相关文章 15

[1]	王智荣, 马强, 龙国梁, 李雪峰, 刘成. 多室隧道连续式真空烧结炉及热处理炉的研制与应用^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 6-11.
[2]	王鹏程, 黄涛, 刘佳明, 孙晓阳, 刘顺明, 董海义. 中国散裂中子源（CSNS）LRBT输运线真空系统^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 21-25.
[3]	陈海峰, 林乐忠. Low-E玻璃镀膜线C1室设计[J]. 真空, 2019, 56(5): 47-51.
[4]	彭润玲, 尹沙沙, 韦妍, 刘德荣, 王宁. 真空冷冻干燥法制备无机纳米粉的研究现状^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 77-84.
[5]	邓文宇, 段永利, 齐丽君, 孙宝玉. 单侧涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟[J]. 真空, 2019, 56(4): 53-58.
[6]	祁松松, 景加荣, 董德胜, 董栋, 王飞, 张蕊. 真空热试验设备压力调节系统设计[J]. 真空, 2019, 56(4): 62-64.
[7]	李阳, 同朴超, 李军仁, 朱军利, 张卓卓, 曹轶轲. 真空等离子焊箱用焊枪的改进优化[J]. 真空, 2019, 56(4): 71-73.
[8]	吕娜, 于胜斌, 鄢鸿羽, 于清明, 乔保振, 王英武. 新型变压法真空干燥技术在变压器处理中的应用[J]. 真空, 2019, 56(4): 74-77.
[9]	邢银龙, 李波, 吴杰峰, 刘志宏, 周能涛. ITER绝缘线圈氦质谱压力检测优化分析[J]. 真空, 2019, 56(4): 15-18.
[10]	王博, 张忠和, 王飞宇, 王帅, 闫帅, 崔天龙, 张忠信. 马氏体沉淀硬化不锈钢真空热处理畸变的研究[J]. 真空, 2019, 56(4): 49-52.
[11]	王凯, 崔寓淏, 刘胜. 基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析[J]. 真空, 2019, 56(3): 48-51.
[12]	赵澜, 成永军, 孙雯君, 陈联, 冯天佑, 吉康. 静态累积比较法真空漏孔校准方法研究[J]. 真空, 2019, 56(3): 44-47.
[13]	张亚平, 杨秀华, 何胤, 黄一彬, 王波, 刘湘云, 王艳, 聂喜亮. 高温工作型红外探测器杜瓦漏热分析与测试[J]. 真空, 2019, 56(3): 60-65.
[14]	姜燮昌. 真空系统的故障诊断与排除[J]. 真空, 2019, 56(3): 1-5.
[15]	隋文, 张驰, 李建昌. 用于OLED试验的小型真空制备系统设计[J]. 真空, 2019, 56(3): 6-9.

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