真空 ›› 2025, Vol. 62 ›› Issue (1): 44-48.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2025.01.07
赵兴忠
ZHAO Xingzhong
摘要: 采用阴极电弧离子镀技术在退火态合金钢表面沉积TiN和TiAlN涂层,使用扫描电镜和X射线衍射仪分析了所得涂层的结构、成分与物相组成,利用显微维氏硬度计测试了涂层的硬度,通过压痕法评价了涂层的结合性能,并采用往复式球-盘摩擦磨损试验测试了涂层的耐磨性能。结果表明,TiN和TiAlN两种涂层表面均平整,但TiAlN涂层表面有明显“液滴”缺陷。退火态合金钢表面TiN和TiAlN涂层均发生了择优生长,其中TiN涂层择优生长的晶面为(111),而TiAlN涂层择优生长的晶面为(200)。沉积TiN和TiAlN涂层后,退火态合金钢的表面硬度分别提高3倍和6倍以上。尽管TiAlN涂层在硬度及摩擦因数上均优于TiN涂层,但由于TiAlN涂层与退火态合金钢结合性能差,导致其在磨损过程中发生剥落,使合金钢耐磨性降低。相比之下,TiN涂层为退火态合金钢提供了更为可靠的保护,显著提高了其表面的耐磨性。
中图分类号: TG174.4
[1] 白双锋,刘雪辉,许立坤,等. SiO2粒径对Ni-Co-SiO2复合镀层性能的影响[J].材料开发与应用,2021, 36(6): 12-20. [2] 张梦瑶,田晓东,高顺. 5083铝合金复合电镀镍-碳化硅-二硫化钼的显微组织和耐磨性[J].电镀与涂饰,2019, 38(16): 843-846. [3] 喻岚,汪镇涛,熊梧尧,等. 9Cr18不锈钢表面不同耐磨镀层的微观结构及耐磨性[J].电镀与精饰, 2023, 45(11): 1-8. [4] 刘李,张哲晨,靳广虎,等. Ni-P-SiC镀层及其摩擦磨损特性研究[J].金属功能材料, 2023, 30(5): 123-129. [5] 金杰,陈蕴博,高克玮.不同族金属离子注入对Cr4Mo4V摩擦磨损性能的影响[J].中国表面工程,2014,27(2):24-30. [6] 孙佩玲. M50钢喷丸与等离子体离子注入复合改性层组织结构及性能[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学,2015. [7] DODD A, KINDE R J, TORP B, et al.The effect of ion implantation on the fatigue life and corrosion resistance of M50 steel bearings[J]. Surface & Coatings Technology, 1995, 74:754-759. [8] 刘汇河,宋海涛,姚颖才,等.8Cr4Mo4V异形滚子盐浴软氮化工艺试验[J].轴承, 2020(4):15-18. [9] 单嗣宏. M50钢离子源辅助渗氮层的组织与性能[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学, 2018. [10] 解芳,高金杰,翟长生,等.重熔温度对GCr15轴承钢表面感应重熔镍基涂层微观组织性能的影响[J].表面技术, 2021,50(7):250-257. [11] 熊晓晨,燕怒,姜雨.表面爆炸喷涂WC涂层对GCr15轴承钢抗疲劳性能的影响[J].机械工程材料, 2018,42(2):74-77. [12] 熊晓晨,燕怒,韩晓琪.轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响[J].表面技术,2014,43(1):67-70. [13] TANG B Y, WANG Y H, WANG L P, et al.Adhesion strength of TiN films synthesized on GCr15-bearing steel using plasma immersion ion implantation and deposition[J]. Surface & Coatings Technology, 2004,186(1-2):153-156. [14] 张权,许雨翔,王启民,等. 先进复合物理气相沉积技术制备高性能硬质涂层[J].工具技术,2020,54(7):3-7. [15] 李斌. 铸钢件热处理技术分析与研究[J].现代制造技术与装备,2018(3):60. [16] 路筱歆,胡树兵,姚南,等.模具钢TiAlN和TiAlSiN涂层的制备及性能[J].材料热处理学报,2022,43(4):146-155. [17] 卢龙,张会霞,刘崇林,等.40Cr钢表面离子镀TiAlN涂层的膜基结合力研究[J].铸造技术,2015,36(12):2889-2891. [18] 田颖萍,范洪远,成靖文.氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响[J].表面技术, 2012, 41(3): 19-25. [19] GERTH J, WIKLUND U.The influence of metallic interlayers on the adhesion of PVD TiN coatings on high-speed steel[J]. Wear, 2008, 264(9-10): 885-892. [20] CARVALHO N J M, ZOESTBERGEN E, KOOI B J, et al. Stress analysis and microstructure of PVD monolayer TiN and multilayer TiN/(Ti,Al)N coatings[J]. Thin Solid Films, 2003, 429(1-2): 179-189. |
[1] | 李婷玥, 王鑫, 甄真, 李娜, 许振华. 不同粘结层对Yb2O3改性Gd2Zr2O7热障涂层的热冲击影响行为*[J]. 真空, 2025, 62(1): 26-36. |
[2] | 李婷玥, 王鑫, 甄真, 李娜, 许振华. Yb2O3改性Gd2Zr2O7热障涂层的显微组织和热循环性能研究*[J]. 真空, 2024, 61(5): 21-29. |
[3] | 赵凡, 项燕雄, 邹长伟, 于云江, 梁枫. 磁控溅射镀膜技术在(Cr,Ti,Al)N涂层上的应用*[J]. 真空, 2024, 61(4): 22-29. |
[4] | 刘玉琢, 王鑫, 李娜, 甄真, 许振华. CVD关键工艺参数对(Ni, Pt)Al涂层高温防护性能影响*[J]. 真空, 2024, 61(3): 63-69. |
[5] | 黄光宏, 甄真, 王鑫, 牟仁德, 何利民, 许振华. 多元稀土掺杂YSZ热障涂层的热物理和热循环性能研究*[J]. 真空, 2024, 61(2): 1-9. |
[6] | 李灿民, 董中林, 夏正卫, 张心凤, 魏荣华. 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的显微组织和性能[J]. 真空, 2024, 61(2): 10-15. |
[7] | 李灿民, 张心凤, 魏荣华. 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的耐冲蚀耐腐蚀性能[J]. 真空, 2023, 60(5): 37-41. |
[8] | 张彬, 蔡妍, 张涛, 常振东, 曾令玉, 牟仁德. 沉积入射角度对热障涂层形貌和性能的影响*[J]. 真空, 2023, 60(3): 5-11. |
[9] | 赵文君, 刘玉琢, 蔡妍, 王立哲, 李建平, 牟仁德, 何利民. 扩散处理对低温粉末渗铝涂层组织及硬度的影响研究*[J]. 真空, 2023, 60(2): 30-33. |
[10] | 邓仲华, 常振东, 徐雷, 胡江玮, 蔡妍, 牟仁德. 物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究*[J]. 真空, 2022, 59(6): 73-77. |
[11] | 王鑫, 甄真, 牟仁德, 何利民, 许振华. 沉积真空度对铝化物涂层相结构和高温氧化行为的影响*[J]. 真空, 2022, 59(5): 20-27. |
[12] | 王立哲, 蔡妍, 张儒静, 何利民, 牟仁德. 单晶高温合金CVD铝化物涂层对热障涂层高温防护性能的影响*[J]. 真空, 2022, 59(4): 56-63. |
[13] | 常振东, 邓仲华, 孙荣臻, 牟仁德, 胡江玮. 表面形貌对PVD法制备涂层结合性能的影响*[J]. 真空, 2022, 59(3): 52-56. |
[14] | 苑仁月, 白雪卫, 李浩喆, 孙世杰, 翟艳坤. 农机耕作零部件表面改性技术研究及展望[J]. 真空, 2022, 59(3): 57-62. |
[15] | 万书宏, 林晶, 冯帅. 热丝CVD法制备金刚石涂层刀具的研究现状*[J]. 真空, 2022, 59(1): 40-47. |
|