真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (2): 53-57.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.10
岳玲1, 石月娟1, 马玉山1, 刘海波1, 周永兴1, 张明明1, 巩春志2, 田修波2
YUE Ling1, SHI Yue-juan1, MA Yu-shan1, LIU Hai-bo1, ZHOU Yong-xing1*, ZHANG Ming-ming1, GONG Chun-zhi2*, TIAN Xiu-bo2
摘要: 针对高端阀门内径20mm导向套内壁处理,采用高频高压脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气压、脉冲电压和频率等参数对导向套空心阴极放电伏安特性的影响,并对工件间距及与阳极距离等放电结构进行了研究。结果表明:管内空心阴极放电需要一个稳定过程,脉冲电流随着时间的增加逐步降低,而后达到稳定放电阶段。提高脉冲电压或工作气压,管内空心阴极脉冲峰值电流增加。脉宽或频率的增加,脉冲峰值电流不变,但平均电流增加,且频率的增加使得激励时间减少。放电结构的分析表明,管间距的减少,放电电流变化不大,而管口与阳极之间距离的减少,使得放电峰值电流略有增加。以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁薄膜制备提供了有效指导。
中图分类号:
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