真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (4): 22-29.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.04.05
赵凡, 项燕雄, 邹长伟, 于云江, 梁枫
ZHAO Fan, XIANG Yan-xiong, ZOU Chang-wei, YU Yun-jiang, LIANG Feng
摘要： 过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。（Cr,Ti,Al）N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人员的关注。本文从磁控溅射镀膜的基本原理和技术特点出发,介绍了制备（Cr,Ti,Al）N涂层常见的磁控溅射镀膜技术,分析了采用单质靶与合金靶沉积镀膜的效果及其各自的优缺点,研究了磁控溅射工艺参数对（Cr,Ti,Al）N涂层机械性能的影响,最后讨论了（Cr,Ti,Al）N梯度涂层的作用及其制备方法。本文可为设计（Cr,Ti,Al）N涂层制备工艺、改善（Cr,Ti,Al）N涂层性能提供理论参考与指导。
中图分类号: TB43;TG174.444
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