无色聚酰亚胺薄膜二次表面镜的光学特性研究

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2024.03.12

摘要/Abstract

摘要： 采用磁控溅射镀膜工艺,以无色透明聚酰亚胺（CPI）膜为基底,Ag和Al作为反射层,制备了CPI薄膜二次表面镜。使用Lambda 950分光光度计对二次表面镜的反射曲线进行分析,研究了在红外波段和可见光波段,CPI薄膜二次表面镜与聚全氟乙丙烯（F46）薄膜镀银二次表面镜、聚酰亚胺（PI）薄膜镀铝二次表面镜反射性能的差异。结果表明：在可见光波段,CPI薄膜镀银二次表面镜与F46镀银薄膜相当,反射率达95%以上;较传统PI镀铝薄膜,CPI镀铝薄膜反射率明显提升;在红外光波段,CPI薄膜反射性能不及F46薄膜,与传统PI薄膜相当;CPI薄膜镀银二次表面镜吸收发射比（α_s/ε）达0.19,与F46薄膜镀银二次表面镜的相近,而耐温性能优于F46薄膜镀银二次表面镜。

关键词: 热控薄膜, 无色透明聚酰亚胺, 二次表面镜, 光学特性

Abstract: The secondary surface mirror of colorless transparent polyimide (CPI) film was prepared using magnetron sputtering coating process, with CPI film as substrate and Ag or Al as reflecting layer. The reflectance curve of secondary surface mirror film was analyzed by using Lambda 950 spectrophotometer. The reflectivity differences of secondary surface mirror of CPI film, silver plating on polyfluoroethylene propylene (F46) film and aluminum plating on polyimide thin film (PI) were studied in infrared and visible light bands. The results show that the secondary surface mirror of silver plating on CPI film is similar to that of F46 film in visible light band, up to 95%. Compared with the traditional PI aluminum coating, the reflectivity of CPI aluminum coating is obviously improved. In infrared light band, the reflectivity of CPI thin films is not as good as that of F46 thin films, which is comparable to that of traditional PI thin films. The absorption and emission ratio (α_s/ε) of silver coating on CPI film is 0.19, which is close to that of the silver coating on F46 film, and the temperature resistance is better than that of F46 film.

Key words: thermal control coating, colorless transparent polyimide, second surface mirror, optical property

中图分类号: TB43

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