真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (4): 12-16.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.04.03
白皓宇, 姚春龙, 董明, 秦瑞, 白永浩, 王奕楠
BAI Hao-yu, YAO Chun-long, DONG Ming, QIN Rui, BAI Yong-hao, WANG Yi-nan
摘要： 长波通滤光片是拉曼光谱仪中滤除瑞利散射光的重要光学元件,更高的陡度能进一步提升其检测精度和范围。介绍了超高陡度长波通膜系设计方案与超多膜层高精度膜厚控制技术,基于磁控溅射技术实现了超高陡度长波通滤光片产品的制造。测试表明该产品的陡度优于0.5%,通带波纹优于4%,可实现532 nm激光附近最低100 cm-1的低波数拉曼检测。
中图分类号: O484.4+1
| [1] LU C E, LEVEY R E, GHERSI G, et al.Monitoring the macrophage response towards biomaterial implants using label-free imaging[J]. Materials Today Bio,2023,21: 100696. [2] FATEIXA S, NOGUEIRA H I S, TRINDADE T. Carbamazepine polymorphism: a re-visitation using Raman imaging[J]. International Journal of Pharmaceutics, 2022, 617: 121632. [3] FANG C, LUO Y L, NAIDU R.Super-resolution imaging of micro-and nanoplastics using confocal Raman with Gaussian surface fitting and deconvolution[J]. Talanta, 2023, 265: 124886. [4] MEENAKSHI M M, ANNASAMY G, SANKARANARAYANAN M.Highly sensitive technique for detection of adulterants in centella herbal samples using surface enhanced Raman spectroscopy (SERS)[J]. Spectrochimica Acta Part A: Molecular and Biomolecular Spectroscopy, 2023, 299: 122878. [5] 杜增丰, 张鑫, 郑荣儿. 拉曼光谱技术在深海原位探测中的研究进展[J]. 大气与环境光学学报, 2020, 15(1): 2-12. [6] LOCHYŃSKI P, SZYMAŃSKA M, CHARAZIŃSKA S, et al. Raman spectroscopy and XRF identification: First step in industrial wastewater management[J]. Water Resources and Industry, 2023, 30: 100216. [7] 刘博文, 高鹏, 王瑞生, 等. 拉曼检测仪器用干涉滤光片综述[J]. 真空, 2023, 60(6): 37-41. [8] 安岩, 刘英, 孙强, 等. 便携式拉曼光谱仪的光学系统设计与研制[J].光学学报, 2013, 33(3): 300-306. [9] 张一超. 手持式拉曼光谱检测装置光学系统的设计与实现[D]. 杭州: 浙江工业大学, 2019. [10] Semrock公司官网[EB/OL]. [2023-02-05].https://www.semrock.com. [11] 阴晓俊, 王瑞生, 赵帅锋, 等. 超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)[J]. 光子学报, 2022, 51(9): 18-29. [12] 王贤俊, 龙亚雪, 郑海燕, 等. 超高分辨力微型光谱仪的光学系统设计[J]. 光电工程, 2018, 45(10): 82-90. [13] 唐晋发, 顾培夫, 刘旭, 等. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州:浙江大学出版社, 2006. [14] 李候俊, 徐均琪, 王建, 等. 近红外激光薄膜滤光片的研制[J]. 光子学报, 2019, 48(9): 231-236. [15] EPSTEIN L I.The design of optical filters[J]. Journal of the Optical Society of America, 1952, 42(11): 806-810. [16] 叶自煜, 张佰森, 朱忠奎. 一种长波红外宽光谱长波通滤光片的设计与镀制[J]. 真空科学与技术学报,2012, 32(9): 830-833. [17] 熊鹰. 文件检测仪器——长波通滤光片的研究[D]. 长春:长春理工大学, 2008. [18] 陈锐, 王风丽, 朱京涛, 等. 基于遗传算法的30.4 nm多层膜设计[J]. 光子学报, 2008, 37(9): 1819-1824. [19] JAKOBS S, LAPPSCHIES M, SCHALLENBERG U, et al.Characterization of metal-oxide thin films deposited by plasma-assisted reactive magnetron sputtering[J]. Chinese Optics Letters, 2010, 8: 73-77. [20] PERVAK V, KRAUSZ F, APOLONSKI A.Hafnium oxide thin films deposited by reactive middle-frequency dual-magnetron sputtering[J]. Thin Solid Films, 2007, 515(20/21): 7984-7989. [21] 赵帅锋, 吕少波, 王瑞生, 等. 高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制[J]. 真空, 2018, 55(2): 10-13. |
| [1] | 赵凡, 项燕雄, 邹长伟, 于云江, 梁枫. 磁控溅射镀膜技术在（Cr,Ti,Al）N涂层上的应用*[J]. 真空, 2024, 61(4): 22-29. |
| [2] | 纪建超, 颜悦, 哈恩华. 沉积参数对TiO2纳米薄膜的显微结构和光学性能的影响*[J]. 真空, 2024, 61(3): 57-62. |
| [3] | 李灿民, 董中林, 夏正卫, 张心凤, 魏荣华. 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的显微组织和性能[J]. 真空, 2024, 61(2): 10-15. |
| [4] | 刘博文, 高鹏, 王瑞生, 赵帅锋, 任少鹏, 董明, 陈一凡, 秦瑞. 拉曼检测仪器用干涉滤光片综述[J]. 真空, 2023, 60(6): 37-41. |
| [5] | 李灿民, 张心凤, 魏荣华. 等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的耐冲蚀耐腐蚀性能[J]. 真空, 2023, 60(5): 37-41. |
| [6] | 刘文丽, 刘旭, 尹翔. 动态磁场矩形平面磁控靶开发[J]. 真空, 2023, 60(5): 47-50. |
| [7] | 张艳鹏, 曹志强, 付强, 曹磊, 刘旭. 卷绕镀铜工艺对复合集流体电学性能影响研究[J]. 真空, 2023, 60(4): 8-12. |
| [8] | 黄传鑫, 辛纪英, 田中俊, 王猛, 吕凯凯, 梁兰菊, 刘云云. 氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究*[J]. 真空, 2023, 60(4): 24-28. |
| [9] | 余康元, 何玉丹, 杨波, 罗江山. 溅射电压对高功率脉冲磁控溅射Cu箔微观结构及性能的影响*[J]. 真空, 2023, 60(3): 1-4. |
| [10] | 张汉焱, 郑丹旭, 沈奕, 陈玉云. 中频磁控反应溅射氧化硅（SiOx）薄膜绝缘性的研究*[J]. 真空, 2023, 60(2): 34-38. |
| [11] | 张健, 齐振华, 李建浩, 牛夏斌, 徐全国, 宗世强. 磁控溅射法制备ITO膜层及其光电性能研究[J]. 真空, 2022, 59(6): 45-50. |
| [12] | 赵琦, 满玉岩, 李苏雅, 李松原, 李琳. 面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究*[J]. 真空, 2022, 59(6): 51-55. |
| [13] | 辛先峰, 刘林根, 林国强, 董闯, 丁万昱, 张爽, 王棋震, 李军, 万鹏. Zr55Cu30Al10Ni5非晶薄膜的制备与性能研究*[J]. 真空, 2022, 59(5): 1-6. |
| [14] | 张健, 李建浩, 齐振华. 探究直流磁控溅射下工艺参数对SiC薄膜性能的影响规律[J]. 真空, 2022, 59(4): 52-55. |
| [15] | 张辉, 王晓波, 张炜鑫, 巩春志, 田修波. 基体偏压模式对CrN薄膜结构和阻氢性能的影响*[J]. 真空, 2022, 59(1): 18-23. |
|