真空 ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (4): 29-35.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.04.06
郭方准, 石晓倩, 王润成
GUO Fang-zhun, SHI Xiao-qian, WANG Run-cheng
摘要： 本文介绍了电子和氩离子两种不同电荷的小型发射枪,根据电子枪的用途,以电荷中和低能量电子枪、脉冲式电子枪和高能量电子枪为例,详细介绍了发射枪的构造、工作原理和粒子轨迹。根据氩离子的产生方式,介绍了冷阴极离子枪、热阴极离子枪和等离子体源。掌握小型带电粒子发射枪的原理和构造,可以针对基础科研、半导体产业、生命科学和国防航天领域的具体应用进行产品开发。
中图分类号: TL82
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