阳极层离子源结构简单，束流密度大，离子能量可控，在大面积表面改性处理方面具有独特的 优势，还可应用于离子束辅助沉积、基片刻蚀和表面清洗等领域。本文回顾了阳极层离子源的起源和发展 历程，介绍了阳极层离子源的工作原理和研究现状，讨论了阳极层离子源的电磁场的设计、电磁场模拟和 气体放电模拟等关键设计方法，概述了阳极层离子源的应用现状，并对阳极层离子源的发展和应用前景 进行了展望。

碳纳米管（Carbon nanotube, CNT）薄膜可作为场发射阴极材料， 具有常温下工作、 物理化学性能 稳定、 响应时间快等一系列优点， 在各类电真空器件中具有潜在的应用价值。 本文重点综述了兰州空间技 术物理研究所近年来开展的碳纳米管阴极制备及其应用研究进展，总结了 CVD 法直接生长法制备不同 微观形貌的碳纳米管薄膜的实验方法， 分析了不同碳纳米管阴极的场发射特性， 介绍了其在超高真空测 量和空间电推进中的应用现状及最新进展。

空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面，在器件制造过程中，真空是空间行波管工作的 基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于 5×10-9Pa 的空间行波管；采用四级质谱计分析了 空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质谱，并由此确定了空间行波管经济可行的烘烤排气时 间。利用四极质谱计对空间行波管进行了检漏实验，结果表明四极质谱计具有很高的灵敏度,非常适合极 高真空的检漏。建立了放气量极低的测量空间行波管真空度的测试平台。对空间行波管的老练、高低温实 验、存储等过程的真空度进行了测试。空间行波管在进行老练时，管内真空度下降约一个数量级，经过 140h 老练后，在老练离子泵的抽气作用下，管内真空度上升到 5.0×10-8Pa，这时去掉老练离子泵，其真空 度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验，并在室温下存储 6 个月，真空保持良好。这些结果为分析 空间行波管质量提供了很好的依据。

随着碳复合材料的发展，需要石墨化处理的温度越来越高，工件外形尺寸越来越大，对高温石 墨化炉提出了更高的要求，本文针对电阻加热圆筒形保温结构的大尺寸石墨化炉的功率计算进行介绍， 包括其工艺特点、结构型式、计算参数的选择进行探讨。

近年来,增减材复合制造技术成为智能制造的主要方法之一,它依靠增材制造实现材料层积成形,利用减材技术提高表面质量、改善应力状态,兼顾了增材制造的快速成型及减材制造的高精度。本文首先阐述了增材制造技术概况及增减材复合制造技术的概况,然后就国内外有关增减材设备的研究及增减材过程中有关材料表面残余应力和粗糙度的研究进行说明,最后,对增减材复合制造技术面临的主要问题、未来发展趋势进行总结及展望。

由于具有低温、电子瞬间发射等优势,场致发射电子源在X射线管、负氢离子源、显示器件等领域都具有应用潜力。本文首先介绍了场致发射的几种应用;比较分析了不同场致发射电子源及其特点;最后结合实验研究工作,分析了类金刚石膜作为场致发射阴极材料的可行性。分析可知：Spindt加工困难且易于损坏;碳纳米管以其独特的结构成为目前研究最热的材料;类金刚石膜易于合成、成份可调节,它兼具的金刚石和石墨的优点使其成为一种潜在的理想场致发射阴极材料。

电弧离子镀是真空镀膜技术中最常用的技术之一，目前在科学研究及工业生产中都得到了长 足发展。但是在薄膜沉积过程中的工艺参数如弧电流、沉积气压、沉积温度等对薄膜结构及性能的影响多 分散于不同的文献中，不利于对这些参数的认识与深入理解。本文综述了电弧离子镀中的工艺参数的作 用，这些参数包括弧电流、弧电压、沉积气压、靶基距、基体偏压、沉积温度及外加磁场等。通过对薄膜沉 积过程中工艺参数的总结，可加深这些参数对薄膜结构及性能影响规律的理解，促进真空镀膜技术的工 艺开发及技术进步。

原子层沉积（atomic layer deposition,ALD）是基于自限制界面反应的薄膜生长技术。采用原子层技术可以制备结构致密、高保形、低缺陷密度、性能优异、均匀性好的薄膜。氧化铝是原子层沉积最常见的薄膜（ALD-Al₂O₃）,具有高透明度、高禁带宽度、高介电常数、高阻隔性以及良好的化学和热稳定性,因而作为钝化层、气体渗透阻隔层和栅极介电层等广泛应用于太阳能电池钝化、OLED封装、有机太阳能电池介质层、印刷电子和微电子封装等领域。本文综述了ALD-Al₂O₃原理、在线诊断和应用发展现状,主要包括氧化铝薄膜的生长机理、单体选择、沉积方法、原位诊断,同时对ALD-Al₂O₃应用以及未来的发展趋势进行预测。

钕铁硼作为第三代稀土永磁材料,在世界磁性材料领域占据着举足轻重的地位,在国防、航空航天、信息通讯、汽车、能源、节能环保、医疗器械等领域具有广泛应用,但钕铁硼永磁材料易被腐蚀的特点限制了其应用的进一步拓展。本文论述了钕铁硼永磁材料的物相组成、腐蚀过程和腐蚀产物,阐述了钕铁硼永磁材料高温氧化、湿热吸氢和电化学腐蚀等腐蚀特性。本文还从提升自身耐腐蚀性和表面涂层防护两方面总结了钕铁硼永磁材料腐蚀防护技术,重点阐述了电镀、化学镀、有机物涂层及物理气相沉积等技术的基本原理、研究进展和发展方向。钕铁硼腐蚀防护技术的研究是推动钕铁硼永磁材料应用领域扩展的关键。

光电阴极的材料决定了光电发射的量子效率、暗发射电流和出射电子能量分布等重要性能。本文介绍各种类型的光电阴极发射材料,包括碱金属和半导体材料。其中重点介绍半导体材料中的多碱光电阴极和负电子亲和势（NEA）光电阴极,并对多碱光电阴极的制备流程及性能测试和影响NEA光电阴极量子效率等因素进行详细的分析。

为了满足高频率、小型化真空微波器件的需求,寻找合适的阴极材料和激光系统,开展了用于微波真空电子器件的光阴极研究,提出了一体化的光电阴极制备方法,通过加热具有扩散阻挡层的发射物质存储室,提供受控的光电发射层,以代替活性物质蒸发损失,从而延长阴极的使用寿命,并可以从中毒、暴露大气过程中恢复。在超高真空系统内制备了Cs₃Sb光电阴极,利用连续激光器测得其量子效率为0.145% (0.53μm ),在能量为0.37W的连续激光照射下,测得发射电流密度达29.2mA/cm²。光电阴极在高强度的激光作用下被损坏后,重新加热激活,光电发射可以得到一定的恢复并长时间稳定,说明这种光电阴极具有可重复激活的特点,有望成为微波真空电子器件的理想电子源。

弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发 射的高密度弧光电子流把氩气电离，用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压 200V 以下，工件偏 流可以达到 10A-30A，弧光放电氩离子流密度大，对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电 氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。

真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生。超高真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、核电能源等高技术产业的发展,为人类的可持续发展提供了保障。近些年,真空腔体、泵、阀门和密封件在增材制造、核聚变、粒子加速器和集成电路等领域发展的带动下取得新的进展,支撑了重要理论验证和重大工程建设,催生了新的科研成果。本文重点介绍了几种真空技术的典型应用,并对其中的关键技术进行论述。

由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影响因素。得出如下结论：真空室气压低于5.0×10^-3 Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10^-3Pa~9.9×10^-3Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10^-2Pa~9.9×10^-2Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×10^-1Pa~9.9×10^-1Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检。简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检。以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导。

在高温下,钛的活性迅速增加,可与许多物质发生剧烈反应。目前高品质钛合金的主流熔炼工艺为在真空或惰性气氛保护下的三次真空自耗熔炼。在熔炼过程中,钛合金溶液的熔池温度可达1750℃以上,必须对铜坩埚、电极杆、炉体等设备重要部位通水冷却。在实际的大规模生产中,容易因操作不当、设备故障等原因引起设备冷却水漏进坩埚,与钛合金溶池接触后发生爆炸,造成人员伤亡和财产损失。本文结合实际生产和设备管理经验,总结了真空自耗熔炼炉的危险因素,分析了对应的预防措施。

研究了基于方向平行填充路径的增材制造平面轮廓填充算法,解决了传统方向平行轮廓填充算法只适合于填充形状相对简单的多边形轮廓,而在处理由大量短小线段组成的多边形轮廓时容易失效的问题。该算法首先生成平面轮廓的扫描线,然后生成平面轮廓多边形的所有单调链,确定后基于生成的扫描线和单调链集合建立方向平行填充轨迹的无向图。在所建立的无向图中将无向图边类型分为线段边、水平边和垂直边三种类型,并研究了基于边类型的相邻关系无向图优化处理方法。最后,研究了基于无向图的方向平行填充轨迹连接算法,并通过计算实例验证了算法的有效性。

本文从薄膜材料的选择、失效机理、机械性能测试方法和疲劳失效对电学参数影响等方面进行 了综述。分析了拉伸、弯折对薄膜微观形貌的影响，以及微裂纹的萌生、扩展以及饱和三个阶段的主要特 点。总结了薄膜材料、晶粒大小、薄膜厚度对薄膜疲劳寿命的作用，进而分析对薄膜电学参数的影响。对 薄膜表面、沿厚度方向和界面处疲劳裂纹的可控性进行了展望，将数学模拟与薄膜疲劳实验现象要更好 的结合起来，可提高二者的符合程度。

利用直流磁控溅射法在有机玻璃基底上沉积掺杂氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜,在室温条件下,研究了溅射功率、溅射气压、靶基距和氧氩流量比等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。结果表明,ITO薄膜的透光率随溅射功率和靶基距的增大而减小,当溅射功率为110W、靶基距为70mm时,ITO薄膜的透光性和导电性较为优良。在近紫外光波段和近红外光波段,ITO薄膜的透光率随溅射气压的增大而减小。当氧氩流量比为4:30时,ITO薄膜在500nm到600nm可见光范围内的透光性和综合性能最好。

进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定。为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中。本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展。

真空包装是一种适用性广、市场需求量大的技术。本文介绍真空包装的目的、意义,说明真空包装设备的几种机型的原理及其选型方法,概括真空包装机的应用情况,并探讨其发展趋势。

计算流体力学与理论流体力学、实验流体力学共同构成流体力学研究体系。随着计算机科学与 技术的发展，以及数值求解理论与方法的进步，计算流体力学（CFD）越来越受到研究人员和工程技术人 员的重视。CFD 理论模型的预测精度获得广泛认可，已经成为复杂流动和传热问题数值分析的研究工具、 工程技术领域中的重要设计工具以及基础热流体力学的教学工具，在真空工程领域中也有应用，可作为 理解真空设备工作机理的重要研究手段。以水蒸气喷射泵内部流动为例，介绍 CFD 数值模拟方法。通过 数值模拟结果的分析，揭示水蒸气喷射泵抽气效率的内在影响规律，为真空设备的结构优化、性能改进提 供依据。

固体火箭发动机喷管型面设计直接关系到喷管效率和推力大小,是喷管设计中的重要研究课题。本文从喷管型面设计方法、型面参数优化和喷管流固热耦合分析等方面综述了国内外对固体火箭发动机喷管型面的研究进展。总结出了直接优化方法、特型喷管的设计方法、六次Bézier曲线、双三次样条曲线构造扩张段型线和B-Spline曲线和特征线方法等喷管型面的设计方法,并介绍了计算流体动力学(CFD)和随机优化方法在固体火箭发动机(SRM)设计优化中的运用。分析了固体火箭发动机喷管涉及到的流固热耦合问题,并结合文献介绍了经典CFD算法、CBS有限元算法和格子波尔兹曼在研究流固热耦合问题上的运用。

为探究低温容器夹层所用分子筛吸附剂的吸附特性,采用静态膨胀法进行试验,获得了平衡压力为10^-3Pa~10³Pa范围内4A、5A和13X分子筛对N₂、O₂单一组分以及空气的吸附等温线,比较了不同分子筛对气体的吸附能力差异,探究了分子筛的吸附机理。研究结果表明：液氮温度下,5A和13X分子筛在真空条件下对N₂及O₂的吸附性能强,吸附量能达到10⁴Pa· L/g量级,4A分子筛对O₂的吸附量也能达到10⁴Pa· L/g量级,然而4A分子筛在平衡压力高时吸附N₂能力较差,饱和吸附量仅达到300Pa· L/g左右;三种分子筛对空气的吸附能力为13X分子筛>5A分子筛>4A分子筛,且在液氮温度下,5A分子筛对空气的吸附速率高于13X分子筛。研究分子筛在低温下的真空吸附特性,有助于指导分子筛在低温容器中的应用,同时为低温分子筛的设计提供参考。

NADCAP项目是对航空航天工业供应体系内特殊过程工艺生产的过程认证,是与国际知名航空企业进行合作的基础。本文基于北京航材院在NADCAP认证过程中顺利通过的实践经验,分享了对高温测量标准AMS2750E在认证中的要点解读,审核中易犯错误总结及原因分析,不符合项整改纠正措施实施流程等内容的个人见解和经验。

离子泵（IGP）是一种特别适用于现代加速器设备的真空获得设备。它们具有长寿命、高可靠 性、高清洁度、密闭抽气等特点，并且因为没有振动，不会干扰粒子束的运行轨迹。通常，离子泵通过一个与 主管道形成 T 形的支管与主管道连接，这种连接方式降低了离子泵有效的抽速，并且需要使用复杂且昂贵 的射频（RF）屏蔽。而且，加速粒子通常对杂散磁场比较敏感，由离子泵磁体产生的非对称磁场（对加速器束 线管而言） 是这些杂散磁场的主要来源。安捷伦与 DESY （德国电子同步加速器 Deutsche ElektronenSynchrotron）合作开发了一种新型的高流导离子泵。350 台使用这种创新设计（专利号：EP2 431996A1）的离子 泵，被安装在了 DESY 的 X-FEL 系统上，离子泵在历史上第一次成为了束线管的组成部分。该泵不使用 T 型 支管而是直接安装在束线管上并成为束线管道的一部分，这使得离子泵的有效抽速最大化并简化了安装； 离子泵的磁铁对称的排列在束线管周围，减少了杂散磁场；同时，RF 屏蔽也可以很容易被集成在泵内。该在 线结构的离子泵有望成为类似应用的标准，为全球相关实验室真空系统开辟新的设计方向。

真空检漏是漂移管直线加速器（DTL）获得高真空的重要技术。四极质谱计是分析真空系统内残余气体成分的重要工具，同时也可作为一种检漏手段。本文利用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对 DTL1^# 腔进行检漏。当对 12^# 漂移管的线圈加电时，腔体内的真空度、漏率和残余气体成分都发生了变化，并且水的谱峰增加最显著，所以判断 12^# 漂移管出现了问题。通过恰当的处理，使腔体很快获得了 10^-6 Pa 的高真空，满足了直线加速器对真空系统的要求。

研究了钢管在镀膜前处理中的清洗方法，利用多道超声波清洗模式对钢管清洗，然后自然晾 干、高温固化，并对钢管镀膜的前处理质量情况进行分析。试验结果表明：精抛后的不锈钢钢管采用溶剂 超洗 + 自来水超洗 + 去离子水超洗 + 去离子水冲洗 + 烘干的工艺流程方式可行，可满足后续镀膜工艺 的要求，为实现后续的生产自动化流程作业提高了试验依据。

电子轰击离子源（Electron Impact Ion Source,EI源）作为小型化磁质谱仪的核心部件之一,其性能指标直接影响质谱仪器的质量分辨率与灵敏度。本文对小型化EI源的结构和电压驱动方式进行了改进和优化,旨在提升EI源的综合性能。采用离子光学模拟软件simion-8.0构建了小型化EI源的三维模型,重点研究几何参数、离子推斥极结构以及驱动EI源的电压参数对离子聚焦性能和离子传输效率的影响。通过模拟离子的运动轨迹,得到离子的运动参数,同时利用相空间法,分析EI源的离子聚焦效果和离子传输效率。理论模拟结果表明：当聚焦极与电离室距离S₁为1.2mm,主狭缝与聚焦极距离S₂与S₁的比值为1.6,主狭缝缝宽S₃为2mm,推斥极为圆弧结构,且聚焦透镜和主狭缝透镜通过扫描高压恒压跟踪驱动方式时,离子的位置聚焦半径小于0.08mm,离子传输效率可达到99%以上。研究表明：经过几何参数、推斥极结构优化和电压驱动方式改进后的EI源,可大幅提高离子传输效率,提升聚焦效果,并能在全质量范围内保持离子聚焦性能稳定,上述特性使其在小型化磁质谱仪开发中具有显著优势。

详细介绍了容积法分子筛吸附等温线试验原理、装置、样品制备、试验步骤及数据处理。试验表明5A分子筛在液氮温度低压下对CO₂、N₂、H₂的吸附性能优于13X分子筛。在分析5A、13X分子筛在液氮温度低压下对CO₂、N₂、H₂吸附等温线的基础上,分析研究了分子筛在LNG与LH₂温度下的吸附等温线变化特征。经试验得到的分子筛在液氮温度低压下的吸附等温线可为工程设计提供很好的参考数据。

采用磁控溅射法分别在Si片和玻璃片上制备了HfO₂薄膜,并用SEM、XRD、XPS、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对HfO₂薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、光学特性和电学特性进行了分析。得出了以下结论：HfO₂薄膜表面较为平坦致密,晶粒大小均匀,晶粒尺寸大部分在10nm~20nm之间;薄膜为多晶结构,O和Hf的原子比接近2:1,且随着氩氧比的增加,O和Hf的原子比呈上升趋势;薄膜在400nm~800nm波长范围内光的透射率都在85%以上,折射率都在2.0以上;漏电流较小,介电常数在16以上。高介电HfO₂材料适合代替传统SiO₂做栅介质材料。

碳纳米管（CNT）场发射阴极具有启动快、分辨率高、寿命长、功耗小等优点，在多种真空电子设 备与器件上，包括平板显示器、真空测量、微波管、X 射线管等得到了应用。本文讨论了碳纳米管阴极的主 要制备方法以及存在的问题，介绍了基于化学气相沉积法和阳极化工艺、在含催化金属基底直接制备碳 纳米管冷阴极所具有强附着力特点，以及应用在 X 射线管等强流真空电子器件上的优势。文章介绍了在 不锈钢基底直接生长 CNT 阴极的场发射性能，其开启电场为 1.46 V/μm。与常规催化金属镀膜层上生长 的 CNT 阴极相比，大电流发射与稳定性显著提高。金属基底阳极化工艺显著改善碳纳米管结构与场发射 性能。直径 2 cm 的不锈钢基底上生长的 CNT 具有晶体性好、分布均匀等特点，场发射性能提高。在镍基 底上生长的 CNT 阴极电流密度可以达到 500 mA/cm2 以上

朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于LabVIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除后,对过渡区曲线进行处理与计算,得到等离子体放电相关参数。使用该套处理系统能够快捷准确地将繁杂的探针数据处理工作变得更为简单,为朗缪尔探针的实际应用提供了基础。使用该套探针处理系统处理了电子回旋共振波等离子体放电随功率变化的V-I曲线并得到准确的结果。

本文介绍了一种基于莱宝L300系列检漏仪检测航天器总漏率的测试方法,并成功研制出莱宝检漏仪的非真空氦质谱累积航天器总漏率测试系统。经过多次试验测试,结果表明研制的航天器总漏率测试系统具有测量精度高、性能稳定,不仅降低了航天器系统总漏率最小可检值,而且降低了设备重量,增加了移动使用的便携性,具有一定的工程应用和推广价值。

带有密封舱段的航天器进行真空热试验时，需要通过容器外的压控系统对密封舱内的压力进 行调节与控制。一般通过压控管道（金属波纹管）将密封舱与压控系统相连，一旦压控管道与密封舱连接 处出现泄漏，航天器真空热试验将无法进行，因此，保证连接处漏率满足试验要求十分重要。本文对连接 处的具体结构进行研究，得出了连接处的漏率检测方法，并进行了试验验证，取得了良好的效果。

现代大科学工程需要大型真空容器,但大型真空容器的设计需要考虑各种因素,是个重要的综合科学问题。本文针对大型卧式真空容器进行设计及分析,设计出内径为5m,长为6m的带有多个大尺寸方形法兰的卧式真空容器。设计中应用有限元软件ANSYS-Workbench进行计算分析,得到了真空容器在工作状态下的应力及变形分布,进而对容器结构进行优化改进,并进行了稳定性分析。结果表明设计合理可行。

北京卫星环境工程研究所研制了四台 DN1250 口径的液氮屏蔽型制冷机低温泵。该低温泵已 经作为大型空间环境模拟系统的高真空主泵投入使用，满足了热真空试验对高真空的需求，取得了良好 的效果。本文主要针对该低温泵的三种主要性能指标（抽速、降温时间和渡越容量）的设计方法、性能测 试方法以及结果进行介绍，测试结果表明该系列低温泵对氮气的抽速达到了 57000L/s，降温时间约 330min，渡越容量达到 3.0×105Pa·L。

随着超导技术的迅速发展，为超导材料提供低温环境的制冷系统得到了越来越多的关注。本文 详细介绍了一种基于减压降温原理的高温超导电机过冷氮冷却系统，包括技术指标及相关要求、总体结 构、关键技术、热负荷分析与计算等。系统采用减压降温获得过冷液氮，冷却电机中超导线圈。液氮进口 温度 68K，出口温度 72K。主要由供液杜瓦、过冷箱、抽空泵、超导线圈杜瓦、返液杜瓦、低温管路及温度仪 表组成。试验证明，该冷却系统设计合理、操作方便，成功实现了超导电机的加载运行。

以法布里-珀珞滤光片（Fabry-Perot filter）结构为模型进,通过对间隔层干涉级次的计算优化,在理论上得到初步具有三通道特性的滤光片结构;为了进一步减少通道半带宽和提高滤波特性,通过适当提高反射膜的反射率,最终得到一种三个通道半带宽均≤5nm,峰值透过率≥95%的三通道滤光片设计。

陶瓷材料具有优异的热学性能和力学性能,在众多领域显示出重要的应用前景。其固有的高强度、高硬度等性能却给陶瓷零件的成型带来了很多困难。将增材制造技术引入到陶瓷成型中将能有效克服上述困难,并为陶瓷材料复杂成型工艺提供了全新的可能性。本论文从陶瓷增材制造原料状态角度,综述了几种常见陶瓷增材制造技术的研究现状与进展,系统比较了各项技术在陶瓷领域应用的优缺点,并对今后陶瓷增材制造技术的发展进行了展望。

本文介绍了用于生产航空细晶铸件的真空细晶铸造炉的分类、工作原理和特点。文章重点分析了细晶铸造炉与双性能铸造炉的技术要点。最后对未来国产真空细晶（双性能）铸造炉的发展作出展望。

本文主要介绍了柔性镀膜材料的制备方法、应用发展状况以及柔性镀膜材料在柔性电路板行业的应用和发展趋势,重点阐述了采用真空磁控溅射工艺制取高性能柔性电路板材料的研发和制备过程。

在柔性电子领域,如有机薄膜太阳能电池、OLED显示、量子点显示等封装时都需要对水氧具有超高阻隔性的薄膜。针对超高水氧阻隔膜制备工艺现状,为提高阻隔膜性能指标,满足快速发展的柔性电子封装技术需求,本文分析了基底材料对水氧阻隔膜性能指标的影响,综述了超高阻隔膜叠层制备技术,为开展超高阻隔膜研究与产业开发提供依据,并对后续技术发展进行了展望。

硼中子俘获治疗（BNCT）装置由一台ECR离子源、一条低能传输线（LEBT）、一台3.5MeV射频四极加速器（RFQ）、一条高能传输线（HEBT）和一个靶站组成。本文首先介绍了BNCT真空系统的组成,对比了BNCT与CSNS离子源真空系统的差异,给出了HEBT真空系统设计方案和气载计算方法。利用Molflow软件模拟计算了HEBT真空系统的静态压力分布和打靶时的动态压力分布,并与目前运行的真空状态进行比对。

介绍了电磁线圈悬浮ELM,冷坩埚悬浮CCLM,冷坩埚半悬浮熔炼semi-CCLM——即感应凝壳熔炼ISM,三类真空熔铸技术的发展和现状。对该类技术在精密铸造、材料提纯、锭材及合金制备、气雾化制粉四个领域的应用进行实例论述。指明悬浮熔炼技术在材料种类、设备容量、熔体过热度及运行工艺几个方面的发展趋势。随着水冷铜坩埚技术的发展,半悬浮熔炼技术得到较快发展,并演化出多种形式,促进新型材料研制。激光和等离子加热技术的融合,为新工艺的实施奠定了基础。

本文归纳整理了美军标、ISO标准和国内标准这三个体系中与光学薄膜技术相关的标准。在美军标中,与光学薄膜技术相关的标准共7个,根据这些标准侧重的内容进行了分类;在ISO标准中,重点讲述了ISO 9211系列标准的主要内容和发展变化;在国内标准中,列举了光学薄膜技术现行标准,并进行了归类整理。对光学薄膜行业标准的未来发展变化提出展望：美军标仍将长期活跃在光学薄膜行业中;ISO标准中光学薄膜内容将不断完善,在行业内获得广泛应用;国内将涌现更多的光学薄膜技术标准并在技术要求上逐步与ISO标准接轨。

以高氯酸溶液为电解液,对激光选区熔化TC4钛合金试样进行电解抛光工艺试验,研究了电流密度、时间、温度、阴极材料等相关参数对试样的粗糙度、失重率、减薄率的影响,同时,对抛光处理后试样的表面形貌进行了分析。研究结果表明,按高氯酸10mL、冰乙酸100mL、水12mL配比的混合电解液,在电流密度为(0.27~0.37)A·cm^-2,温度(30~35)℃,时间(15~20)min的条件下进行电解抛光所得的效果较好。试样表面粗糙度Ra由13.66μm降至1.52μm,厚度减薄率在(6~7)%左右,试样表面平整光亮,均一性较好。

真空电梯是一款新型电梯,通过控制轿顶上下两侧的气压差实现轿厢的上行与下行。目前真空电梯在国外形成了以PVE为代表的产业链,但国内仍处于研发阶段,其相关专利报道主要集中在驱动结构改型、附属部件创新及控制系统优化等三个方面。与传统电梯相比,真空电梯不需要底坑、钢丝绳、曳引轮等装置,具有组装迅速、环保节能、外观时尚、安全可靠等显著优势。真空电梯具有非常广阔的应用方向与市场前景。

文章从真空钎焊、真空热处理、真空热试验、真空技术在飞行模拟实验中的应用、真空测量五个方面对真空技术在航空航天领域的应用现状进行了介绍,展望了真空技术在航空航天领域应用的前景。 真空技术的应用极大地推进了我国航空航天领域的发展,未来随着我国航空航天事业的快速发展,真空技术也必将会发挥更大的作用。

本文介绍了一种单台真空泵运行参数监测系统。该系统由主控芯片 STM32F103ZET6 单片机及 相应监测参数传感器等组成。介绍了系统的总体设计方案、测量原理、关键技术，详细阐述了硬件设计、 软件编程、传输测试等过程，实现了对单泵温度、压力、转速等运行参数的采集和显示，并可与 PC 上位机 通讯。所设计的系统体积小、功耗低、可靠性高、抗干扰能力强，有效实现了对单泵运行参数的实时监测。

基于高温工作型红外探测器杜瓦组件的发展趋势,对影响杜瓦漏热指标至关重要的传导漏热和辐射漏热作了分析,提出杜瓦设计改进的方法。概括了杜瓦漏热测试的常规方法,并分析其在高工作温度杜瓦漏热测试方面的缺陷。采用真空保护量热法,实现高工作温度型杜瓦组件漏热的可靠测试,推动第三代红外焦平面探测器组件的发展。